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到達真空度
<5x10-7mbar
基板サイズ
最大 6inch
ガス系統
3 系統 (標準) Ar, O2, N2
APC 制御
PIDループ自動圧力制御 (又は、手動)
真空ポンプ
ターボ分子 , ロータリー (又はスクロール)
膜厚センサ
水晶振動子膜厚センサー 最大 3
基板回転
モーター駆動 30 段階速度可変式
上下昇降
手動、又はモーター駆動式
シャッター
基板シャッター , ソースシャッター
抵抗加熱蒸着
TE1 ボックス型蒸着源 最大 3 源
有機蒸着
LTE-1 型有機蒸着源 (1cc) 最大 2 源
マグネトロンスパッタリング
2/3inch カソード x 最大 3 源
プラズマエッチング
RF150W 13.56MHz, DC850W PSU
アニール
2/3inch 加熱ステージ Max500℃
型番
MiniLab 026取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品91点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 到達真空度 | 基板サイズ | ガス系統 | APC 制御 | 真空ポンプ | 膜厚センサ | 基板回転 | 上下昇降 | シャッター | 抵抗加熱蒸着 | 有機蒸着 | マグネトロンスパッタリング | プラズマエッチング | アニール | オプション |
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要見積もり | <5x10-7mbar | 最大 6inch | 3 系統 (標準) Ar, O2, N2 | PIDループ自動圧力制御 (又は、手動) | ターボ分子 , ロータリー (又はスクロール) | 水晶振動子膜厚センサー 最大 3 | モーター駆動 30 段階速度可変式 | 手動、又はモーター駆動式 | 基板シャッター , ソースシャッター | TE1 ボックス型蒸着源 最大 3 源 | LTE-1 型有機蒸着源 (1cc) 最大 2 源 | 2/3inch カソード x 最大 3 源 | RF150W 13.56MHz, DC850W PSU | 2/3inch 加熱ステージ Max500℃ |
多元同時成膜 |
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