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返答率
100.0%
返答時間
29.2時間
標準外形寸法
1,500 (W) ×750 (D) ×900 (H) mm (*MiniLab装置部)
グローブボート
3ポート (標準) 耐腐食性強化アルミニウム 内径Φ200mm
グローブ
プチルゴム製グローブ
アンテチャンバー
oリングシール, 内径Φ370×L600mm, 着脱スライドトレー
ミニアンテチャンバー
oリングシール, 内径Φ150×L300 mm
窓
耐衝撃性, 耐腐食性ガラス採用
ボックス内棚
2段式×2箇所, ボックス背面パネル設置
リークレート
<0.001 Vol% / hr (ISO 10648-2)
ガス循環フィルター
HEPA H13
ソレノイドバージバルブ
クイックバージバルブ
真空ポンプ
ターボ分子 (標準) ,or クライオポンプ＋ロータリーポンプ
システムコントローラー
7"高解像度タッチパネルスクリーン PLC自動制御システム
バージバルブ
N2 (Ar) 用
背面フィールドスルーボード
4箇所 (内1箇所は電源用) KF-40キャップ付属
設置
高さ調整式キャスター, レベルジャッキ (オプション)
精製装置
ガス循環精製装置, 酸素温度計・水分濃度計付属
型番
MiniLab-026-GB取扱企業
テルモセラ・ジャパン株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品93点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 標準外形寸法 | グローブボート | グローブ | アンテチャンバー | ミニアンテチャンバー | 窓 | ボックス内棚 | リークレート | ガス循環フィルター | ソレノイドバージバルブ | 真空ポンプ | システムコントローラー | バージバルブ | 背面フィールドスルーボード | 設置 | 精製装置 |
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要見積もり | 1,500 (W) ×750 (D) ×900 (H) mm (*MiniLab装置部) | 3ポート (標準) 耐腐食性強化アルミニウム 内径Φ200mm | プチルゴム製グローブ | oリングシール, 内径Φ370×L600mm, 着脱スライドトレー | oリングシール, 内径Φ150×L300 mm | 耐衝撃性, 耐腐食性ガラス採用 | 2段式×2箇所, ボックス背面パネル設置 | <0.001 Vol% / hr (ISO 10648-2) | HEPA H13 | クイックバージバルブ | ターボ分子 (標準) ,or クライオポンプ＋ロータリーポンプ | 7"高解像度タッチパネルスクリーン PLC自動制御システム | N2 (Ar) 用 | 4箇所 (内1箇所は電源用) KF-40キャップ付属 | 高さ調整式キャスター, レベルジャッキ (オプション) | ガス循環精製装置, 酸素温度計・水分濃度計付属 |
蒸着装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
排気系主ポンプがターボ分子ポンプの製品
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
