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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社の取り扱い製品
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18 点の製品がみつかりました
18 点の製品
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
ガス精製装置 ゲッター式ガス精製装置 MODEL-UHG / URT
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■特長 ・当社が開発した独自のゲッターによりガスの高純度精製が可能 ・常温吸着式では除去困難な窒素 (N2) の除去が可能 ・反応筒 (ゲ...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
マスフローコントローラ SEC-E series
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■概要 SECシリーズは、堀場エステックの流量計測・制御技術の粋を結集し開発された純国産の高性能マスフローコントローラです。マスフロ...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
ガス精製装置 パラジウム合金膜透過式水素ガス精製装置 MODEL-VP-DH
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■特長 ・水素以外の物質は全く透過しないパラジウム合金膜透過による精製方法であり、ダストを含まない超高純度水素ガスが得られる ・当...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
ガス精製装置 常温吸着式精製装置 Model-VPEシリーズ
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■VPEシリーズ精製装置 精製装置のパイオニア・エア・ウォーター・メカトロニクスの世界最高のガス精製技術と長年培った多彩な技術で開発...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
キャパシタンスマノメータ (VGシリーズ)
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■特長 ・小型のキャパシタンスダイヤフラムゲージ ・自己温調型は最小クラス ・独自の電極構造により高精度、高安定性を実現 ・腐食に強...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
多成分ガス混合装置 (MU-3000シリーズ)
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■特長 ・安定した濃度のガス発生 ・多様なガス種への対応 ・マルチガス、マルチガスレンジ機能を使用し、ガス種、流量レンジの変更が可...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
排ガス処理装置 アンモニア分解除害装置 MODEL-WGAシリーズ
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本装置は主にGaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。常温乾式除害と触媒分解式除害を効率よく組み合わせ、メンテナンス...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
ガス精製装置 常温吸着式空気精製装置 MODEL-JARシリーズ
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JAR型空気精製装置は主にステッパー、自動車排ガス測定用ゼロガス、燃料電池用のガス精製を目的とした精製装置です。 ■特長 ・常温吸着...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
排ガス処理装置 パイオクリンカートリッジ MODEL-PCS／PCF
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「パイオクリン」は各種の有害成分を化学的に吸着させ、排ガスから多種の有害物質を完全に取り除きます。また、ドライタイプの除害剤の...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
排ガス処理装置 パイオクリン®緊急保安装置 MODEL-WGR
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毒性ガスボンベからの万一の噴出や半導体製造設備等 (配管、継手、バルブ等) から毒性ガスが漏洩した場合に、付近の大気とともに吸引し...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
排ガス処理装置 燃焼式排ガス処理装置 MODEL-WGT
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本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等のフッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
排ガス処理装置 パイオクリン排ガス処理装置 MODEL-WGCシリーズ
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■特長 ・シンプルなフロー設計と、極めて高い処理能力を誇るパイオクリンカートリッジの組合せにより、経済的かつ、安全に有毒ガスを除...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
排ガス処理装置 PFC触媒加熱分解装置 MODEL-WGF
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本装置は、CF4、C2F6、C5F8等のPFCを始め、SF6およびHFCの完全分解が可能です。また、ヒーター加熱方式によりプロパン等の燃焼燃料を必...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
排ガス処理装置 NF3用排ガス処理装置 MODEL-WGH
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■特長 ・NF3を許容濃度 (10 ppm) 以下に分解 ・除害装置出口のガスには、CO2、NOx、HFが含まれない ・270℃からの低温運転による除害が可...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
排ガス処理装置 吸着再生式排ガス処理装置 MODEL-WGEシリーズ
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本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、従来の湿式除害では出来なかったT...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
マスフローコントローラ Z500 series
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■概要 SECシリーズは、堀場エステックの流量計測・制御技術の粋を結集し開発された純国産の高性能マスフローコントローラです。マスフロ...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
排ガス処理装置 触媒加熱分解装置 MODEL-WGB
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■特長 ・高、強誘導電体製造プロセスの排ガス処理に最適 ・揮発性有機物質 (THF、酢酸ブチルなど) とPb、Zr、Tiなどの有機金属錯体を高...
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社
パイオファインカートリッジ (半導体用ガス精製器) MODEL-PFシリーズ
■特長 ・独自に開発した触媒の使用により、各種半導体用ガスの精製に優れた性能を発揮 ・精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバ...
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会社基本情報
| 郵便番号 | 〒254-0013 |
|---|---|
| 本社住所 | 神奈川県平塚市田村3-3-32 |
| 創業年 | 1962年 |
| 資本金 | 300,000,000円 |
| 従業員数 | 48人 |
| 法人番号 | 2021001039404 |
| リンク | エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ホームページ |
事業所情報
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