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回転ステージのメーカー20社一覧や企業ランキングを掲載中！回転ステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:株式会社フィジックステクノロジー、3位:ツクモ工学株式会社となっています。 回転ステージの概要、用途、原理もチェック！
回転ステージ (英: rotating stage) とは、装置や物体を取り付ける回転台です。
回転ステージに取り付けた物体の向きや角度を任意の状態にしたり、位置決めや計測を行うために使用します。回転する方法は手動や電動などです。制御方法がオープンループやフィードバック制御のもの、大きさも大小さまざまあるので、用途によって使い分けが重要です。
また、回転動作は加工や計測など、その後に何らかの動作が伴うという目的があって行うことが多いため、回転テーブル単体で使用される場合は少なくなっています。
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2025年7月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 神津精機株式会社 |
13.6%
|
| 2 | 株式会社フィジックステクノロジー |
12.9%
|
| 3 | ツクモ工学株式会社 |
7.1%
|
| 4 | 株式会社旭エンジニアリング |
6.4%
|
| 5 | 鍋屋バイテック会社 |
6.4%
|
| 6 | 駿河精機株式会社 |
5.7%
|
| 7 | 株式会社ミラック光学 |
5.7%
|
| 8 | ピーアイ・ジャパン株式会社 |
4.3%
|
| 9 | エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社 |
4.3%
|
| 10 | GMT GLOBAL INC. |
4.3%
|
項目別
使用用途
#光学調整
#半導体検査
#計測装置
#精密加工
#研究開発
駆動方式
モータ駆動型
電磁駆動型
軸構成
単軸型
直交多軸型
傾斜回転型
回転機構
ウォームギア型
ダイレクトドライブ型
摩擦駆動型
精度グレード
標準精度型
高精度型
超高精度型
自己位置検出型
回転範囲θZ °
200 - 360
最大角速度 °/秒
0 - 10
10 - 20
20 - 50
50 - 500
500 - 1,000
2,000 - 3,000
3,000 - 3,100
耐荷重 N
0 - 10
10 - 100
100 - 1,000
双方向繰り返し精度 µrad
0 - 10
10 - 100
100 - 200
200 - 400
400 - 1,500
駆動トルク N·m
0 - 0.1
0.1 - 1
1 - 2
2 - 3
3 - 5
動作電圧 V
20 - 30
30 - 40
40 - 50
42 点の製品がみつかりました
42 点の製品
ピーアイ・ジャパン株式会社
3220人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
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摩擦がなく、インデックス作成、位置決め、スキャン、測定技術に最適。PIglide RMシリーズの電動回転ステージは、精度、精度、高剛性、...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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20.4時間 返答時間
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・無制限の走行範囲 ・非常に高い解像度 ・最大速度200°/s ・DC、BLDC、およびステッピング モーター ・方向感知基準スイッチ ・...
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■特徴 ・10 -9hPaまでの真空対応 ・無制限の走行範囲 ・非常に高い解像度 ・ステッピングモーター ・方向感知基準スイッチ ・多軸セット...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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20.4時間 返答時間
■特徴 ・無制限の走行範囲 ・高解像度 ・最大速度16°/s ・バックラッシ補正ウォームドライブ ・DCギアモーター ・方向感知基準スイッチ ...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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20.4時間 返答時間
■特徴 ・150mm、200mm、350mm ・モーションプラットフォームの直径 ・ロープロファイル ・偏心率と平面度<100nm ・磁気プリロードによる...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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20.4時間 返答時間
■特徴 ・無制限の走行範囲 ・5μradまでの再現性 ・耐荷重50kgまで ・オプション: 角度測定システムによる直接位置測定 ■リファレンスク...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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20.4時間 返答時間
■特徴 ・幅わずか32mm、高さ8mm ・分解能0.75µradのインクリメンタルエンコーダによる直接位置測定 ・最大3µradの最小増分動作 ・回転範...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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20.4時間 返答時間
■特徴 ・無制限の走行範囲 ・87µradまでの再現性 ・20mmØ口径 ・基準スイッチ ・真空対応のバリエーションも利用可能 ■スタンダードク...
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20.4時間 返答時間
■特徴 10 -7hPaまでの真空対応 ・無制限の走行範囲 ・87µradまでの再現性 ・20mmØ口径 ・基準スイッチ ■スタンダードクラスの回転ステ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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20.4時間 返答時間
■特徴 ・極めて省スペース: エッジ長わずか30mm、高さ12mm ・小さな荷重を迅速かつ正確に位置決めします: 速度720°/s、最小増分動作105µ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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20.4時間 返答時間
■特徴 ・コンパクト：刃長50mm、高さ19mm ・荷重を迅速かつ正確に位置決め: 速度720°/s、最小増分動作51µrad ・無制限の回転範囲>360° ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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100.0% 返答率
20.4時間 返答時間
■特徴 ・14mmの薄型 ・大きな荷物を迅速かつ正確に配置します ・無制限の回転範囲>360° ・駆動トルクは両回転方向ともに0.3Nm ・スイッ...
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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20.4時間 返答時間
■特徴 ・フラットでコンパクトなデザイン ・透過光アプリケーション向けの明確な開口部 ・オプションの保持ブレーキ ・高い駆動トルクを...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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ピーアイ・ジャパン株式会社
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株式会社フィジックステクノロジー
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■ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッドをリリース。360°回転も可能。Patented 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ AL...
回転ステージ (英: rotating stage) とは、装置や物体を取り付ける回転台です。
回転ステージに取り付けた物体の向きや角度を任意の状態にしたり、位置決めや計測を行うために使用します。回転する方法は手動や電動などです。制御方法がオープンループやフィードバック制御のもの、大きさも大小さまざまあるので、用途によって使い分けが重要です。
また、回転動作は加工や計測など、その後に何らかの動作が伴うという目的があって行うことが多いため、回転テーブル単体で使用される場合は少なくなっています。
回転ステージは、半導体ウェハなどを固定して、検査、精密計測、モーションシミュレータなどを行います。また、オプトメカニクス部品を固定して、精密計測をします。
回転ステージ自体の取付方向は、さまざまな向きに取り付けて使用可能です。加工や測定の対象物と装置の機構部品のどちらを回転させる方が効率が良いかを考えた上で、使用されています。
大まかな角度が必要な場合は手動による粗回転、細かい角度調整が必要な場合は微動回転を使用するなど、用途に応じて高精度なものが求められます。
回転ステージの回転台を支持する構造として、クロスローラベアリングを使用するもの、摺動方式のもの、及びアンギュラベアリングを使うものなどが実用されています。
クロスローラベアリングとは、90°のV溝を有するローラレースと円筒コロから構成される軸受です。円筒ローラは、45°の接触角を持って直交に互い違いに配列されます。ボールベアリングにおける背面受け構造を1列で実現でき、多方向からの荷重を同時に受けることが可能な構造です。
回転ステージを駆動すると、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化がほとんどない特徴があります。クロスローラベアリングは、線接触で荷重を支えており、ボールガイド機構よりも剛性が高い方式です。また、回転台とクロスローラベアリングは直結させることができるので、構造部品を少なくすることも可能です。
回転ステージの回転精度は、ローラの精度に依存するため、ローラの精度等級によって高い回転精度を得ることができます。また、クロスローラベアリングは摩擦力が小さく、軽い力で動作させることができるので、微動回転機構にマイクロメータヘッドなどが使用可能で、高い位置決め精度を得られます。
回転機構にステッピングモーターを接続することで、回転の角度や方向、動作手順などを自動化することもできます。
回転ステージの一面と固定側の一面が面接触して摺動する方式です。アリ摺動と呼ばれます。機構が簡素で、隙間に汚れが入りにくい構造です。支持する面積が広いので、衝撃荷重や大荷重に耐えることができます。
アンギュラーベアリングは、接触角を有するベアリングで、一方向のアキシャル荷重を受けるものです。回転ステージに使用する場合は、アンギュラーベアリングを2個使用して、互いに向かい合わせに配置します。この方式により、アキシャル荷重とラジアル荷重の両方に剛性が大きくなります。
電動式の回転ステージには、ステッピングモータが多く使われます。基本ステップ角は、0.36°、分解能は、フルステップで0.004°、1/20分割のマイクロステップで0.0002°前後です。
回転ステージには、360°回転可能な粗動回転機構の他、特定の範囲を微細に回転ができる微動回転機構が付いています。微動回転は、精密マイクロメータを使用してウォームとギア駆動で回転させます。
微動回転できる範囲は、±3～5°が一般的です。分解能は、5 arc-min程度のバーニヤ目盛です。
回転ステージは、がた、ふらつき、ぐらつき、バックラッシュなどを非常に小さくしています。軸方向のふらつきは、500μrad以下が一般的です。
クラス100のクリーンルームで使用できる回転ステージもあります。また、多くは欧州RoHS指令に準拠した製品です。粗動回転機構と微動回転機構は、ねじによりロックが可能です。
参考文献
https://www.thorlabs.co.jp/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=12958
