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回転ステージ メーカー20社

回転ステージのメーカー20社一覧や企業ランキングを掲載中！回転ステージ関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:神津精機株式会社、2位:株式会社フィジックステクノロジー、3位:ツクモ工学株式会社となっています。 回転ステージの概要、用途、原理もチェック！

回転ステージとは

回転ステージ (英: rotating stage) とは、装置や物体を取り付ける回転台です。

回転ステージに取り付けた物体の向きや角度を任意の状態にしたり、位置決めや計測を行うために使用します。回転する方法は手動や電動などです。制御方法がオープンループやフィードバック制御のもの、大きさも大小さまざまあるので、用途によって使い分けが重要です。

また、回転動作は加工や計測など、その後に何らかの動作が伴うという目的があって行うことが多いため、回転テーブル単体で使用される場合は少なくなっています。

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精密ステージ 傾斜ステージ

20社回転ステージメーカー

回転ステージ 2025年7月のメーカーランキング


見積もりの使い方

業界別

💊 製薬・医薬品 🚗 自動車・輸送用機器 💻 電子・電気機器 ⚡ エネルギー 🚀 航空・宇宙 🔩 金属加工

項目別

使用用途

#光学調整

#半導体検査

#計測装置

#精密加工

#研究開発

駆動方式

手動型

モータ駆動型

軸構成

単軸型

同軸多軸型

回転機構

ウォームギア型

ベルト駆動型

精度グレード

標準精度型

高精度型

自己位置検出型

回転範囲θZ °

200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10

10 - 20

20 - 50

50 - 500

耐荷重 N

0 - 10

10 - 100

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10

100 - 200

200 - 400

400 - 1,500

駆動トルク N·m

0.1 - 1

1 - 2

2 - 3

3 - 5

動作電圧 V

20 - 30

30 - 40

40 - 50

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66 点の製品

DT-80 コンパクト回転ステージ　開口付-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

DT-80 コンパクト回転ステージ　開口付

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高い移動精度 L-611 精密回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

高い移動精度 L-611 精密回転ステージ

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高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ

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M-060・M-061・M-062 精密回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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M-060・M-061・M-062 精密回転ステージ

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大口径、高い移動精度 PRS-200 精密回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

大口径、高い移動精度 PRS-200 精密回転ステージ

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精密な位置決め RS-40 コンパクト回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

ピーアイ・ジャパン株式会社

精密な位置決め RS-40 コンパクト回転ステージ

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精密な位置決め RS-40 V7 真空対応コンパクト回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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精密な位置決め RS-40 V7 真空対応コンパクト回転ステージ

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV120BPP-株式会社日本レーザー

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV120BPP

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV120BPP-F-株式会社日本レーザー

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV120BPP-F

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV120PE-株式会社日本レーザー

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV120PE

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV120PE-F-株式会社日本レーザー

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV160BPE-株式会社日本レーザー

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV160BPP-株式会社日本レーザー

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV160PEV6-株式会社日本レーザー

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV240BPE-株式会社日本レーザー

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RVシリーズ 高性能精密回転ステージ ステッピングモーター RV240BPE

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URSシリーズ 精密回転ステージ CONEX-URS50BCC-株式会社日本レーザー

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URSシリーズ 精密回転ステージ CONEX-URS50BCC

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URSシリーズ 精密回転ステージ URS100BCC-株式会社日本レーザー

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URSシリーズ 精密回転ステージ URS100BPP-株式会社日本レーザー

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URSシリーズ 精密回転ステージ URS100BPP

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URSシリーズ 精密回転ステージ URS150BCC-株式会社日本レーザー

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URSシリーズ 精密回転ステージ URS50BCC-株式会社日本レーザー

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FCR100 コントローラー付き高性能回転ステージ FCR100-株式会社日本レーザー

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PR50&SR50シリーズ 小型高分解能回転ステージ CONEX-PR50CC

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PR50&SR50シリーズ 小型高分解能回転ステージ CONEX-SR50CC-株式会社日本レーザー

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PR50&SR50シリーズ 小型高分解能回転ステージ SR50CC-株式会社日本レーザー

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PR50&SR50シリーズ 小型高分解能回転ステージ SR50PP-株式会社日本レーザー

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PR50&SR50シリーズ 小型高分解能回転ステージ SR50PP

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回転ステージ【φ25～φ120】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

回転ステージ【φ25～φ120】

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■概要 ・回転ステージは、移動ガイドにすり合わせ式を採用し、θ方向に360°回転調整が可能なθステージです。 ・360°方向での粗動調整、粗...

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価格 (税抜)

15,500 円〜

θ－2θ自動回転ステージ【ステッピングモータ・2ステージ型】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

θ－2θ自動回転ステージ【ステッピングモータ・2ステージ型】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・θ－2θ自動回転ステージは、2つの回転ステージを独立して制御できるθステージです。 ・中心側θ2に試料台、外側θ1にアーム及び光...

価格 (税抜)

450,000 円

自動回転ステージ【ステッピングモータ・φ90ステージ】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

自動回転ステージ【ステッピングモータ・φ90ステージ】

電子・電気機器業界用 エネルギー業界用 航空・宇宙業界用

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■概要 ・中型サイズの自動回転ステージは、ステッピングモータとクロスローラベアリングを採用した構造をもつ、制御式のθステージです。...

価格 (税抜)

280,000 円

高精度 大型回転ステージ【φ200】-ツクモ工学株式会社

ツクモ工学株式会社

高精度 大型回転ステージ【φ200】

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■概要 ・回転ステージは、移動ガイドにクロスローラリングを採用し、θ方向に360°回転調整が可能なθステージです。 ・360°方向での粗動調...

価格 (税抜)

250,000 円

電動アクチュエータ エコノミーシリーズ 電動ターンテーブル ET-THK株式会社

THK株式会社

電動アクチュエータ エコノミーシリーズ 電動ターンテーブル ET

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■エコノミーシリーズ 電動ターンテーブル ET 高精度な多点位置決めが可能な薄型電動ターンテーブルです。 ■高性能を発揮する構造 モー...


□40小型自動回転ステージ TSA40-θ-ワイヤード株式会社

ワイヤード株式会社

□40小型自動回転ステージ TSA40-θ

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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された40mm角テーブルの自動位置決めステージです。


□60小型自動回転ステージ TSA60-θ-ワイヤード株式会社

ワイヤード株式会社

□60小型自動回転ステージ TSA60-θ

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□24の5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブルの自動位置決めステージです。


中空回転ステージ TSA160-θ-ワイヤード株式会社

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中空回転ステージ TSA160-θ

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TSA160-θはφ102mmの透過穴と厚さ44mmの薄型をコンセプトに設計された自動大型回転ステージです。


測定用ターンテーブル・ポジショナ 樹脂製コンパクトターンテーブル DC402シリーズ-株式会社テイエスエスジャパン

株式会社テイエスエスジャパン

測定用ターンテーブル・ポジショナ 樹脂製コンパクトターンテーブル DC402シリーズ

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樹脂製の両手持ちフィクスチャを備えたコンパクトな測定用ターンテーブルです。ダイヤモンドエンジニアリングは、1989年に米国シエラネ...


θ軸粗すり合わせ粗微動ステージ KSP-シグマ光機株式会社

シグマ光機株式会社

θ軸粗すり合わせ粗微動ステージ KSP

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■特長 粗動360°の回転と微動 (マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリューからの選択) が可能なすり合わせ式のθ軸 (回転) 粗微動...


θ軸ウォーム式ステージ KSW-シグマ光機株式会社

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θ軸ウォーム式ステージ KSW

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ウォームギアで駆動させるため360°にわたり精密な調整が可能な回転ステージです。 ■詳細 ・ステージ中央の貫通穴は、透過穴用としてご...


ステッピングモーター 回転系 高剛性 精密型自動ステージ OSMS-YAW-シグマ光機株式会社

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ステッピングモーター 回転系 高剛性 精密型自動ステージ OSMS-YAW

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ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。 ■詳細 計測、検査、評...


ステッピングモーター 回転系 精密自動回転ステージ HST-YAW-シグマ光機株式会社

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ステッピングモーター 回転系 精密自動回転ステージ HST-YAW

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移動ガイドにベアリングを使用した高精度で安定性の高い自動回転ステージです。3軸ステージコントローラHSC-103と使用することで、従来...


ステッピングモーター 回転系 小型自動回転ステージ OSCM-25YAW-シグマ光機株式会社

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ステッピングモーター 回転系 小型自動回転ステージ OSCM-25YAW

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テーブル面サイズφ25mmのステッピングモータ駆動の小型自動ステージです。従来の製品より大幅に小型化され、省スペースが必要な生産設備...


ステッピングモーター 回転系 ロータリーエンコーダ付自動回転ステージ 2相モータ OSMS (RE) -YAW-M2-シグマ光機株式会社

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ステッピングモーター 回転系 ロータリーエンコーダ付自動回転ステージ 2相モータ OSMS (RE) -YAW-M2

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CEに準拠した自動回転ステージ (OSMS-YAWシリーズ) をベースに、新たに「ロータリーエンコーダ付2相ステッピングモータ」を搭載したモデ...


見積もりの使い方

回転ステージの価格・相場

平均価格

29,333 円

最低価格

15,500 円

最高価格

41,500 円

📔 回転ステージの基礎知識

回転ステージとは

回転ステージ (英: rotating stage) とは、装置や物体を取り付ける回転台です。

回転ステージに取り付けた物体の向きや角度を任意の状態にしたり、位置決めや計測を行うために使用します。回転する方法は手動や電動などです。制御方法がオープンループやフィードバック制御のもの、大きさも大小さまざまあるので、用途によって使い分けが重要です。

また、回転動作は加工や計測など、その後に何らかの動作が伴うという目的があって行うことが多いため、回転テーブル単体で使用される場合は少なくなっています。

回転ステージの使用用途

回転ステージは、半導体ウェハなどを固定して、検査、精密計測、モーションシミュレータなどを行います。また、オプトメカニクス部品を固定して、精密計測をします。

回転ステージ自体の取付方向は、さまざまな向きに取り付けて使用可能です。加工や測定の対象物と装置の機構部品のどちらを回転させる方が効率が良いかを考えた上で、使用されています。

大まかな角度が必要な場合は手動による粗回転、細かい角度調整が必要な場合は微動回転を使用するなど、用途に応じて高精度なものが求められます。

回転ステージの原理

回転ステージの回転台を支持する構造として、クロスローラベアリングを使用するもの、摺動方式のもの、及びアンギュラベアリングを使うものなどが実用されています。

1. クロスローラベアリング方式

クロスローラベアリングとは、90°のV溝を有するローラレースと円筒コロから構成される軸受です。円筒ローラは、45°の接触角を持って直交に互い違いに配列されます。ボールベアリングにおける背面受け構造を1列で実現でき、多方向からの荷重を同時に受けることが可能な構造です。

回転ステージを駆動すると、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化がほとんどない特徴があります。クロスローラベアリングは、線接触で荷重を支えており、ボールガイド機構よりも剛性が高い方式です。また、回転台とクロスローラベアリングは直結させることができるので、構造部品を少なくすることも可能です。

回転ステージの回転精度は、ローラの精度に依存するため、ローラの精度等級によって高い回転精度を得ることができます。また、クロスローラベアリングは摩擦力が小さく、軽い力で動作させることができるので、微動回転機構にマイクロメータヘッドなどが使用可能で、高い位置決め精度を得られます。

回転機構にステッピングモーターを接続することで、回転の角度や方向、動作手順などを自動化することもできます。

2. 摺動方式

回転ステージの一面と固定側の一面が面接触して摺動する方式です。アリ摺動と呼ばれます。機構が簡素で、隙間に汚れが入りにくい構造です。支持する面積が広いので、衝撃荷重や大荷重に耐えることができます。

3. アンギュラーベアリング方式

アンギュラーベアリングは、接触角を有するベアリングで、一方向のアキシャル荷重を受けるものです。回転ステージに使用する場合は、アンギュラーベアリングを2個使用して、互いに向かい合わせに配置します。この方式により、アキシャル荷重とラジアル荷重の両方に剛性が大きくなります。

4. モータ駆動

電動式の回転ステージには、ステッピングモータが多く使われます。基本ステップ角は、0.36°、分解能は、フルステップで0.004°、1/20分割のマイクロステップで0.0002°前後です。

回転ステージの特徴

1. 微動機構

回転ステージには、360°回転可能な粗動回転機構の他、特定の範囲を微細に回転ができる微動回転機構が付いています。微動回転は、精密マイクロメータを使用してウォームとギア駆動で回転させます。

微動回転できる範囲は、±3～5°が一般的です。分解能は、5 arc-min程度のバーニヤ目盛です。

2. 高剛性

回転ステージは、がた、ふらつき、ぐらつき、バックラッシュなどを非常に小さくしています。軸方向のふらつきは、500μrad以下が一般的です。

3. 機能性

クラス100のクリーンルームで使用できる回転ステージもあります。また、多くは欧州RoHS指令に準拠した製品です。粗動回転機構と微動回転機構は、ねじによりロックが可能です。

参考文献
https://www.thorlabs.co.jp/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=12958

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