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2軸ステージのメーカー33社一覧や企業ランキングを掲載中！2軸ステージ関連企業の2025年5月注目ランキングは1位:THK株式会社、2位:日本精工株式会社、3位:フォトニックインストゥルメンツ株式会社となっています。 2軸ステージの概要、用途、原理もチェック！
2軸ステージ (XY軸ステージ) とは、左右方向の移動を行うX軸と前後方向の移動を行うY軸の2つの軸を持った位置決めステージのことです。
2つの軸の使用によって位置決めしやすくなる点が、2軸ステージの利点として挙げられます。2軸ステージは、一般的にそれぞれの軸方向に動くステージを重ねる形で構成されています。
ステージを案内するガイド機構やステージを移動させる送り機構の違いなどで、2軸ステージの精度や特長は異なります。
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2025年5月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | THK株式会社 |
12.5%
|
| 2 | 日本精工株式会社 |
12.5%
|
| 3 | フォトニックインストゥルメンツ株式会社 |
8.3%
|
| 4 | 株式会社杉藤 |
8.3%
|
| 5 | 株式会社カートン |
8.3%
|
| 6 | 駿河精機株式会社 |
8.3%
|
| 7 | シグマ光機株式会社 |
8.3%
|
| 8 | 日本トムソン株式会社 |
8.3%
|
| 9 | 株式会社MSAファクトリー |
4.2%
|
| 10 | 株式会社モーショントラスト |
4.2%
|
項目別
使用用途
#精密計測 #レーザー加工 #光学調整 #ナノ計測 #試料移動 #バイオ実験 #位置決め制御 #デバイス製造 #材料試験移動範囲 mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800位置決め精度 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4双方向再現性 µm
0.5 - 1真直度 µm
0 - 1 1 - 2平坦度 µm
0 - 1 1 - 5最大速度 mm/s
0 - 100 100 - 500 1,000 - 2,000 2,000 - 2,100センサー解像度 nm
0 - 1 1 - 1025 点の製品がみつかりました
25 点の製品
フォトニックインストゥルメンツ株式会社
320人以上が見ています
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顕微鏡用手動XYステージは正立顕微鏡、倒立顕微鏡または装置組み込み用にデザインされています。ラック・アンド・ピニオン方式による移...
プレサイスゲージ株式会社
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分解能5nmというかつてないSpec。他のソフトとの連携も可能。 ■概要 PGXYSTG-αは小型で高精度高分解能なXYステージです。精密スケール...
フォトニックインストゥルメンツ株式会社
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正立顕微鏡用の自動XYステージ EK 75x50 Pilot は、ラック・アンド・ピニオン構造に独自のリニアエンコーダーを搭載することによって、...
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高性能・小型XYナノポジショニングシステム。エアベアリングを備えた高精度PIglide IS XY平面スキャナーは、フラットなデザインで、積み...
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ドイツ・メルツホイザー社の正立顕微鏡用自動XYステージは装置の自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されま...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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分解能1 nmのXYポジショニングシステム。 ■特徴 ・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・移動範囲 ...
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ドイツ・メルツホイザー社の倒立顕微鏡用自動XYステージは自動化と高精度位置決めを必要とするアプリケーションの為に開発されました。...
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■特徴 ・移動範囲102mm×102mm (4") ・大口径、150mm×150mm ・0.05µmまでの一方向の再現性 ・速度90mm/sまで ・2相ステッピングモーター...
フォトニックインストゥルメンツ株式会社
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ドイツ・メルツホイザー社のクローズドループ制御 顕微鏡用自動XYステージは標準自動XYステージよりさらに高精度な位置決め、繰り返し制...
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■特徴 ・P-545 PInano®ピエゾナノポジショニングシステム用の安定したプラットフォーム ・組み込みが容易な薄型:30mm ・移動範囲 25mm×2...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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■特徴 ・価格重視の用途向けのXYステージ ・精密ステッピングモーター ・クロスローラーガイド ・リミットスイッチとリファレンススイッ...
ピーアイ・ジャパン株式会社
530人以上が見ています
最新の閲覧: 56分前
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■特徴 ・コンパクト：面44mm×44mm ・移動範囲120µm×120µm ・0.2nmまでの分解能 ・特に安価なシステム (メカニックおよびコントローラー)...
ピーアイ・ジャパン株式会社
280人以上が見ています
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■特徴 ・薄型で静かなPILine®超音波モーター ・複数のメーカーの倒立光学顕微鏡に適しています ・双方向繰返し精度：±0.5μm ・移動範囲...
ピーアイ・ジャパン株式会社
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22.3時間 返答時間
■特徴 ・10µm/s での高速一定性 ・速度120mm/s、分解能0.1µm ・移動範囲は135mm×85mm (モデルタイプによる) ・倒立顕微鏡用、自由回転...
ピーアイ・ジャパン株式会社
230人以上が見ています
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■特徴 ・移動範囲 102mm×102mm (4") ・大口径、150mm×150mm ・0.1µmまでの一方向の再現性 ・速度 500mm/sまで ・三相リニアモーター ・...
株式会社日本レーザー
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■LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ ・X, Z, XY, XYZ, 5軸,...
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顕微鏡で観察する際に観察物の位置の微調整が可能 ■特徴 ・顕微鏡マイクロスコープと組み合わせて使用 ・ダイヤルを回すことで、観察物...
株式会社佐藤商事
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MJ-MS・Dino Liteシリーズに対応。LED搭載、ステージの移動が可能 ■MJ-MSシリーズ・Dino Liteシリーズに対応 市販の直径30mm、35mmのマ...
株式会社ルシール
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倒立培養顕微鏡での多点撮影計測の為のXYステージです。現在お持ちの倒立培養顕微鏡に取り付ける為、お持ちの顕微鏡またはご購入ご検討...
ゲルハルトジャパン株式会社
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改題された対象物を簡単に制御するための大型で安定したXYテーブル。これらのXYテーブルに安全にTAGARNOマイクロスコープを取り付けます。
株式会社MSAファクトリー
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■外観検査用、カスタム対応ステージ 外観検査用、貴社向けアプリケーションにあわせたカスタムステージ。自動/手動いずれでも対応可能 ...
株式会社MSAファクトリー
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顕微鏡観察用ステージ、デバイス・MEMS評価ステージとして。小型角度ステージ、傾斜ステージ カスタマイズ対応品、在庫品 様々なバリ...
シグマ光機株式会社
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■概要 顕微鏡ステージを低価格でご提供します。 ■特徴 ・PC制御用のサンプルソフトがご利用可能です。 ・ジョイスティック (オプション...
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■概要 透過用のガラステーブルを装備した手動式の顕微鏡ステージです。 ■詳細 ・底面のノブを操作することで、XY軸方向に移動ができま...
2軸ステージ (XY軸ステージ) とは、左右方向の移動を行うX軸と前後方向の移動を行うY軸の2つの軸を持った位置決めステージのことです。
2つの軸の使用によって位置決めしやすくなる点が、2軸ステージの利点として挙げられます。2軸ステージは、一般的にそれぞれの軸方向に動くステージを重ねる形で構成されています。
ステージを案内するガイド機構やステージを移動させる送り機構の違いなどで、2軸ステージの精度や特長は異なります。
2軸ステージは、位置決めが必要となる様々な装置で使用されます。例えば、ワークの位置決めが必要となる半導体製造装置や試料の位置決めが必要になる顕微鏡などです。
ガイド機構や送り機構の違いによって低精度なものから高精度なものまで、様々な2軸ステージが存在します。また、ガイド機構や送り機構の違いによって特長も異なります。そのため、使用用途に応じた適切な精度と特長を持つ2軸ステージの選択が必要です。
2軸ステージは、ステージのガイド機構と送り機構を備えています。以下、それぞれの機構の代表的な方式を説明します。
アリ溝方式
台形状のアリ溝とアリ溝に収まるアリほぞを利用したガイド機構です。アリ溝の中でアリほぞが摺動します。摩擦係数が高いため、精度の高い位置決めには不向きとなります。一方で、コストが抑えられるため、簡単な位置決めを行う用途では最適です。
クロスローラー方式
ローラーが内蔵されるスライダーとV溝が形成されるレールを利用したガイド機構です。レールに沿ってスライダーが移動するときに、V溝の側面に線接触するローラが転がります。剛性が高いのが特長です。また、低摩擦で微小な送りが可能なため、正確な位置決めにも適しています。
ボール方式
ボールが内蔵されるスライダーと、円弧状のR溝が形成されるレールを利用したガイド機構です。レールに沿ってスライダーが移動するときに、R溝の側面に接触するボールが転がります。
R溝とボールとの接触が良く、あらゆる方向の荷重に対して安定した負荷能力がある点が特長です。移動精度もクロスローラー方式と大きな差はなく、正確な位置決めにも適しています。
ラック＆ピニオン
ラックギアが形成されるレールとピニオンと呼ばれる歯車を利用した送り機構です。素早くステージを送ることができるのが特長ですが、高精度な位置決めには不向きです。
送りねじ
おねじとめねじを利用したねじ方式の送り機構です。例えば、ボールねじがこの送り機構に該当します。ねじのピッチの分解能でステージを送ることができるので、細かな送りが可能ですが、送りの速度は遅く、長いストロークでの位置決めには不向きです。
マイクロメータ
送りねじよりも細かな精度での送りが可能なねじ方式の送り機構です。内部の構造は送りねじとほぼ同じです。目盛りがついているため、正確な移動量を把握できます。こちらも送りの速度は遅いため、長いストロークでの位置決めには不向きです。
上記のようなガイド機構と送り機構から、用途に合わせた組み合わせを選択して、2軸ステージを構成します。2軸ステージは、手動で操作するものに限らず、各軸の駆動をモーターで行うものもあります。
この場合、位置決めの精度は、送り機構の精度と駆動用のモーターの分解能によって決まるため、モーターの仕様選定も重要です。一般的に、精密な位置決めが必要となる場合には、サーボモーターもしくはステッピングモーターが使用されます。
2軸ステージは、一般的にベースとX軸のステージとY軸のステージを持っています。Y軸のステージはベースに対してY方向 (前後方向) に移動可能で、X軸のステージはY軸のステージに対してX方向 (左右方向) に移動可能です。
例えば、送り機構が送りねじである場合、Y軸の送り機構のおねじはベースに取り付けられ、Y軸の送り機構のめねじはY軸のステージに取り付けられています。また、X軸の送り機構のおねじはY軸のステージに取り付けられ、X軸の送り機構のおねじはX軸のステージに取り付けられています。
Y軸の送り機構によってベースに対してY軸のステージがY方向に送られると、X軸のステージも一緒にY方向に移動する仕組みです。X軸の送り機構によってY軸のステージに対してX軸のステージがX方向に送られると、X軸のステージのみがX方向に移動します。
参考文献
https://jp.misumi-ec.com/maker/misumi/mech/product/xy/faq/faq01.html
https://www.shodensha-inc.co.jp/solution/what-is-xy-stage/
