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倒立顕微鏡用高精度 自動XYステージ-自動XYステージ
倒立顕微鏡用高精度 自動XYステージ-プレサイスゲージ株式会社

倒立顕微鏡用高精度 自動XYステージ
プレサイスゲージ株式会社

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この製品について

分解能5nmというかつてないSpec。他のソフトとの連携も可能。

■概要

PGXYSTG-αは小型で高精度高分解能なXYステージです。精密スケールを搭載することで、5nmという驚異的な分解能を実現したうえ、移動スピードにおいても長年培った独自の移動制御により、さくさくっと動く高速移動を実現しています。

■用途

・顕微鏡での観察 (X位置、Y位置) ・デバイスの繰り返し測定など

  • シリーズ

    倒立顕微鏡用高精度 自動XYステージ

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倒立顕微鏡用高精度 自動XYステージ 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) ステージ面 走査軸 ストローク モーター ステージ ステージ送り分解能 測定スケール分解能 速度 移動方向 OS 外部制御
倒立顕微鏡用高精度 自動XYステージ-品番-自動XYステージ

自動XYステージ

要見積もり

150mm×150mm

X軸、Y軸

±25mm

5相ステッピングモーター

クロスローラーガイド、ボールネジ

0.001μm

0.005μm

高速走査:2.5mm/sec
高分解能時:0.5mm/sec

上下左右、斜め方向

Windows10

ジョイスティックによる走査 (オプション)

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使用用途: 光学調整

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2軸ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#半導体検査 #精密計測 #レーザー加工 #光学調整 #ナノ計測 #試料移動 #微細組立 #バイオ実験 #位置決め制御 #デバイス製造 #材料試験

移動範囲 mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

位置決め精度 µm

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 10

双方向再現性 µm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2.5

真直度 µm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 100 100 - 300

平坦度 µm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

最大速度 mm/s

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 2,100

耐荷重 N

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 2,100

センサー解像度 nm

0 - 1 1 - 10 10 - 100

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 静岡県
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