薄膜作製装置 電子ビーム蒸着装置 大型EB蒸着装置
北野精機株式会社
この製品について
■特徴
本装置は電子ビーム (EB) を用いた高融点金属蒸着装置です。本装置には高い材料使用効率と高い膜特性を実現するために自転・公転型プラネタリーを使用しています。また大容量のハース (るつぼ) と最大出力30kWの電子銃を搭載することで数百μと厚い膜厚も高速に成膜していくことが可能です。 さらに、膜厚制御は高レート／高膜厚に適応した弊社独自の技術により水晶振動子による高精度測定を実現しています。■装置構成
・φ800高真空チャンバー ・蒸着用電子銃 ・DP&RP排気ユニット ・クライオ冷却装置 ・冷却水循環装置 ・装置制御盤-
シリーズ
薄膜作製装置 電子ビーム蒸着装置 大型EB蒸着装置
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取扱企業
北野精機株式会社
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カテゴリ
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薄膜作製装置 電子ビーム蒸着装置 大型EB蒸着装置 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達真空度 | 電子銃 | 基板加熱温度 | プラネタリー | 装置制御 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
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大型EB蒸着装置 |
要見積もり | ≦1.0E-5Pa | 最大出力30kW (15kW2A) | Max450℃ | 蒸着時に同一軌道上を周回し、かつ自転することによって均一性の高い成膜作業が可能になります | PLC (プログラマブルロジックコントローラー) での自動排気・自動立上げにより24時間全自動運転可能 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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この商品の取り扱い会社情報
- 本社所在地: 東京都