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シリーズ
薄膜作製装置 4元マグネトロンスパッタリング装置取扱企業
北野精機株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 超高真空チャンバー 形状 | 超高真空チャンバー ポート | 超高真空チャンバー 材質 | 超高真空チャンバー 表面処理 | 超高真空チャンバー 高温処理 | 超高真空チャンバー リーク量 | 超高真空チャンバー 到達真空度 | 3軸マニピュレーター Z方向 | 3軸マニピュレーター R方向 | 3軸マニピュレーター チルト方向 | モーターコントローラー | サンプル加熱ヒーター 方式 | サンプル加熱ヒーター 到達温度 | サンプル加熱ヒーター ヒーター材 | 下部フランジ 形状 | 下部フランジ ポート | 下部フランジ 材質 | 下部フランジ 表面処理 | 下部フランジ 高温処理 | 下部フランジ リーク量 | 液体窒素シュラウド 材質 | 液体窒素シュラウド 方式 | 液体窒素シュラウド 処理 | 液体窒素シュラウド リーク量 | メインシャッター機構 方式 | 膜厚センサー移動機構 | 架台 | AC100V | AC200V | 圧縮空気 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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4元マグネトロンスパッタリング装置 |
要見積もり |
ICF-356-N特殊/203/152/114/70 |
ICF-203、ICF-152、ICF-114、ICF-70 |
SUS316L |
複合電解研磨鏡面仕上げ |
真空ベーキング450℃×48時間以上 |
5×10^-11Pa・m3/sec |
1×10^-11Torr以下 (液体窒素シュラウド冷却かつ300l/s以上のターボ分子ポンプまたは、300l/s以上のイオンポンプ使用時) |
100mm (上下機構KUD-114/100Z) モーター駆動 |
360° (∞) (回転プラットホームKMRP-114) モーター駆動 |
90° (上下機構KUD-114/70SP) モーター駆動 |
ステッピングモーター用コントローラー |
爪押さえ型 |
基盤表面温度Max1,200℃ |
Ta (ヒーター部) モリブデン (本体) |
ICF-356/152×4/70×1 |
ICF-203、ICF-152、ICF-114、ICF-70 |
SUS316L |
複合電解研磨鏡面仕上げ |
真空ベーキング450℃×48時間以上 |
5×10^-11Pa・m3/sec |
ステンレス316L |
液体窒素溜め込み式 (8/3″パイプ使用) |
バフ研磨鏡面仕上げ、ヒートサイクル処理 (10回) |
5×10^-8Pa・m3/sec |
トランスファーロッド方式 (オプション/モーター駆動) |
センサー：水晶振動子 (オプション) |
材質：SS材／焼付塗装処理 (黒色) |
単相30A |
三相20A |
5kg／cm2 |
返答率
100.0%
平均返答時間
50.9時間
