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薄膜作製装置 マグネトロン・スパッタリング蒸着装置取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達真空度 | 基盤加熱温度 | 試料搬送機構 | 蒸着源制御 |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
マグネトロン・スパッタリング蒸着装置 |
要見積もり |
≦1.0E^-7Pa |
基盤表面温度Max500℃ |
トランスファーロッド方式 |
エミッション及びスイープ制御 |
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