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卓上型真空ベーク・HMDS蒸着装置 310TA取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適合クリーンルーム | 対応ウェハサイズ | 動作温度 | 温度安定性 | キャパシティ | スループット | チャンバー寸法 (約) W×D×H | 本体寸法 (約) W×D×H | 供給ガス接続 | N2ガス消費量 | クリーン度 | レシピ数 | プロセス時間 | 設定分解能 | イメージリバーサル | 電源 (50/60Hz) | 重量 (約) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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310TA |
要見積もり | Class 10 | ~200 mm (8″) | 常温–160℃ | ±5℃ |
4″ ウェハ 8 カセット 5″ ウェハ 2カセット 6″ ウェハ 2カセット 8″ ウェハ 1カセット |
2バッチ / 時 (イメージリバーサル : 1バッチ / 時) | 31×34×31 cm | 63×50×77 cm |
・圧空 or N2:バルブ制御用 ・N2:チャンバーベント用 ・アンモニア:イメージリバーサル用 |
7 SCF / プロセス | <5 × 1um パーティクル / 150mm ウェハ | 8 レシピ | 0–999,999 秒 | 1秒 | 対応 | 単相 200 – 250V, 20A | 109 kg |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。