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熱フィラメントCVD装置-熱フィラメントCVD装置
熱フィラメントCVD装置-株式会社MPS

熱フィラメントCVD装置
株式会社MPS

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この製品について

■概要

実験用の熱フィラメントCVD装置です。貴社のご要望に応じて装置を設計します。

  • シリーズ

    熱フィラメントCVD装置

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熱フィラメントCVD装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
熱フィラメントCVD装置-品番-熱フィラメントCVD装置

熱フィラメントCVD装置

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使用用途

#半導体製造 #光学部品製造 #太陽電池製造 #ディスプレイ製造 #電池材料開発 #センサ開発 #薄膜トランジスタ開発 #表面改質 #機能性材料研究 #MEMS製造 #医療機器製造 #材料評価

到達圧力 Pa

0 - 0.01 0.01 - 1 1 - 10

基板サイズ mm

25 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 650

設置面積 m²

1 - 5 5 - 10 10 - 20

所要電力 kVA

10 - 15 15 - 20 20 - 25 25 - 30 30 - 35

真空槽 mm

500 - 800 800 - 1,000

基板バイアス V

0 - 5,000 5,000 - 25,000

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

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返答時間

57.6時間

会社概要

株式会社MPSは、2004年に設立した、電子ビーム溶接をはじめとする真空機器の製造・販売をしている会社です。 主な事業内容は、電子ビーム溶接機、成膜装置、真空装置用コンポーネントの製造・販売になります。 真空機器や溶接...

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  • 本社所在地: 千葉県
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