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バッチ/ロードロック 研究開発用スパッタリング装置 EB1000取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置構成 | 対応基板サイズ | カソード | 操作方法 | 設置面積 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
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EB1000 |
要見積もり |
トレイ搬送方式 (ロードロック (LL) 室はオプション) |
最大φ150 mm (LL室ありの場合は最大φ100 mm) |
φ2"カソード×3基 |
排気自動操作、搬送・成膜マニュアル操作 |
W:1,800 mm×D:1,100 mm×H:1,550 mm (標準仕様) |
