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バッチ/ロードロック 研究開発・小規模生産用スパッタリング装置 EB1100取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置構成 | 対応基板サイズ | カソード | 操作方法 |
|---|---|---|---|---|---|---|
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EB1100 |
要見積もり |
ロードロック式、トレイ搬送方式 |
最大φ200 mm |
φ4"カソード×3基 (標準) 、φ4"カソード×4基 (オプション) 、φ12.5"カソード×1基 (オプション) |
全自動 (排気、搬送、成膜) |
