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インライン LED生産用スパッタリング装置 EL3000シリーズ取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置構成 | 対応基板サイズ | カソード | 操作方法 |
---|---|---|---|---|---|---|
EL3000シリーズ |
要見積もり |
ロードロック式、トレイ搬送方式 |
φ2"基板~φ8"基板 |
φ7.1"カソード×最大4基、もしくはφ12.5"カソード×最大4基 |
全自動 (排気、搬送、成膜) |