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インライン LED生産用スパッタリング装置 EL3000シリーズ-EL3000シリーズ
インライン LED生産用スパッタリング装置 EL3000シリーズ-キヤノンアネルバ株式会社

インライン LED生産用スパッタリング装置 EL3000シリーズ
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

成膜有効エリアが広いため、小型基板の多数枚処理に適し、用途や生産量に応じて様々なカスタマイズが可能なスパッタリング装置です。 多数枚バッチ処理方式により、LED等の小型基板を用いる分野での生産に最適な、トレイ搬送式の全自動スパッタリング装置です。

■用途

LED生産用 (ITO透明導電膜、メタル電極膜、等)

■特長

・回転成膜により大面積での良好な膜厚分布が得られる為、トレイ搬送による多数枚基板のバッチ処理が可能 φ2"基板×50枚/バッチ、φ3"基板×25枚/バッチ、φ4"基板×17枚/バッチ、φ6"基板×8枚/バッチ ・全自動操作 (排気操作、基板搬送、成膜プロセスを全自動で処理可能) ・φ7.1"カソードもしくはφ12.5"カソードを最大4基標準搭載 ・ロータリーマグネトロンカソードによる高いターゲット利用効率を実現 ・スパッタ室増設やストッカー機構増設などにより、用途や生産量などに応じて装置構成をカスタマイズする事が可能

  • シリーズ

    インライン LED生産用スパッタリング装置 EL3000シリーズ

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インライン LED生産用スパッタリング装置 EL3000シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置構成 対応基板サイズ カソード 操作方法
インライン LED生産用スパッタリング装置 EL3000シリーズ-品番-EL3000シリーズ

EL3000シリーズ

要見積もり

ロードロック式、トレイ搬送方式

φ2"基板~φ8"基板

φ7.1"カソード×最大4基、もしくはφ12.5"カソード×最大4基

全自動 (排気、搬送、成膜)

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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