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インライン 電子部品生産用インライン式スパッタリング装置 EL3200-EL3200
インライン 電子部品生産用インライン式スパッタリング装置 EL3200-キヤノンアネルバ株式会社

インライン 電子部品生産用インライン式スパッタリング装置 EL3200
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

ロード、アンロードロックストッカーを装備し、用途や生産量に応じてデポUPまたはDOWN、両面成膜を選択できるスパッタリング装置です。 角型トレイを1枚ずつ成膜エリアに搬送して、単層膜や多層膜 (最大3層) の成膜を行う事が可能な、水平型インライン式スパッタリング装置です。

■用途

電子部品生産用

■特長

・生産量に応じて片面成膜 (デポUPもしくはデポDOWN) と両面成膜を選択可能 ・最大3基 (片面) のカソードを搭載する事で、積層膜への対応が可能 ・ストッカー室に最大25枚のトレイを収納可能 ・予備加熱室 (前処理用) を増設可能 (オプション)

  • シリーズ

    インライン 電子部品生産用インライン式スパッタリング装置 EL3200

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インライン 電子部品生産用インライン式スパッタリング装置 EL3200 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置構成 対応基板サイズ カソード
インライン 電子部品生産用インライン式スパッタリング装置 EL3200-品番-EL3200

EL3200

要見積もり

水平型インライン式

成膜有効エリア300 mm×450 mm内

5"×16"カソード　×最大3基 (片面)

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スパッタリング装置をフィルターから探すことができます

処理基板 mm

20 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 700

スパッタ方向

アップ ダウン

装置構成

エッチング室 カセット室 スパッタ室 搬送室 ロードロック室 クラスター式 インライン式 ロードロック式 トレイ搬送方式

基板加熱 ℃

100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 800

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この商品の取り扱い会社情報

キヤノンアネルバ株式会社

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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