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インライン 電子部品生産用インライン式スパッタリング装置 EL3200取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置構成 | 対応基板サイズ | カソード |
|---|---|---|---|---|---|
|
|
EL3200 |
要見積もり |
水平型インライン式 |
成膜有効エリア300 mm×450 mm内 |
5"×16"カソード ×最大3基 (片面) |
