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シリーズ
インライン 高密度実装向けスパッタリング装置 EL3400取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置構成 | 対応基板サイズ |
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EL3400 |
要見積もり |
縦型インライン式、真空アニール室、成膜処理室、片面 最大3機のプロセスユニット搭載可能 |
650 mm、□300 mm、Φ300 mm等 |
