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クラスター 電子部品生産用スパッタリング装置 EC7400取扱企業
キヤノンアネルバ株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置構成 | 対応基板サイズ | カソード | モジュール |
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EC7400 |
要見積もり |
クラスター式 (プロセス室の搭載数は最大3室) CtoC方式 |
最大φ200 mm |
φ7.1"カソード (最大4基。モジュールにより搭載数が異なります) |
オフセット自転スパッタモジュール (多元カソード仕様) 、オフセット自公転スパッタモジュール、エッチングモジュール (前処理用) 、プリヒートモジュール (前処理用) |
