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クラスター LED生産用スパッタリング装置 EC8100-EC8100
クラスター LED生産用スパッタリング装置 EC8100-キヤノンアネルバ株式会社

クラスター LED生産用スパッタリング装置 EC8100
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

多数枚基盤処理で、小型基盤を用いる電子部品分野に最適なトレイ搬送式のクラスタースパッタリング装置です。 LED等の小型基板を用いる分野での生産に最適なトレイ方式を採用し、複数のスパッタ室を備えて多層膜の形成も可能なクラスター式の全自動スパッタリング装置です。

■用途

LED生産用 (ITO透明導電膜、メタル電極膜、等)

■特長

・回転成膜により大面積での良好な膜厚分布が得られる為、トレイ搬送による多数枚基板のバッチ処理が可能 φ2"基板×50枚/バッチ、φ3"基板×25枚/バッチ、φ4"基板×16枚/バッチ、φ6"基板×8枚/バッチ、φ8"基板×4枚/バッチ ・ダメージレス成膜 (Long distance sputtering 240～340 mm) ・良好な膜厚均一性 ・良好なターゲット利用効率 ・省スペース (当社従来機30 %減)

  • シリーズ

    クラスター LED生産用スパッタリング装置 EC8100

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クラスター LED生産用スパッタリング装置 EC8100 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置構成 対応基板サイズ
クラスター LED生産用スパッタリング装置 EC8100-品番-EC8100

EC8100

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トレイ付きクラスター式

2~8インチ

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キヤノンアネルバ株式会社

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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