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クラスター メモリ配線用スパッタリング装置 IC7500-IC7500
クラスター メモリ配線用スパッタリング装置 IC7500-キヤノンアネルバ株式会社

クラスター メモリ配線用スパッタリング装置 IC7500
キヤノンアネルバ株式会社

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この製品について

半導体配線向け300mmスパッタリング装置です。カソードにはボトムカバレッジと埋め込み性に優れたPCMカソードも選択可能です。 主に半導体メモリで使用する金属配線材料の薄膜形成に対応した、クラスター式スパッタリング装置です。当社独自のカエラカソード技術により、反応性スパッタや高ストレス材料においても良好な均一性と低パーティクルを両立しました。高歩留りと高生産性の実現により、製造コストの大幅抑制が可能な装置です。

■用途

半導体メモリ (金属配線材料用) の量産

■特長

・レシピ毎にin-situでカソードマグネット位置 (3軸) を変更可能 (均一性、クリーニングの最適化が簡便) ・世界最高水準に位置するスループット (80枚/時間) を実現 ・半導体メモリ量産現場で90 ％以上の稼動率を実現 (故障率＜1 ％)

  • シリーズ

    クラスター メモリ配線用スパッタリング装置 IC7500

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クラスター メモリ配線用スパッタリング装置 IC7500 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置構成 対応基板サイズ
クラスター メモリ配線用スパッタリング装置 IC7500-品番-IC7500

IC7500

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クラスター式

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キヤノンアネルバ株式会社

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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