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スパッタリング装置 クラスター 磁気ヘッド用成膜加工装置 HC7300-HC7300
スパッタリング装置 クラスター 磁気ヘッド用成膜加工装置 HC7300-キヤノンアネルバ株式会社

スパッタリング装置 クラスター 磁気ヘッド用成膜加工装置 HC7300
キヤノンアネルバ株式会社



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この製品について

IBM Millingから各種成膜までを一貫処理するハードディスクの磁気ヘッド向けスパッタリング装置です。 磁気ヘッドの各プロセスを一挙に集約。キヤノンアネルバのラインナップだからこそ可能になった、磁気ヘッド一貫生産装置です。

■用途

磁気ヘッドの生産

■特長

・PR on TMRの状態から、Millingと各種デポジションにより、Cap Layerまでの一貫加工処理を実現 ・各要素に求められる最適加工形状を可能にする為の、最適なモジュールラインナップを搭載可能 (IBE、異方性スパッタ、等方性スパッタ、RIEなど) ・真空一貫プロセスにより、良好な膜特性と高い生産性を実現

  • シリーズ

    スパッタリング装置 クラスター 磁気ヘッド用成膜加工装置 HC7300

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スパッタリング装置 クラスター 磁気ヘッド用成膜加工装置 HC7300 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置構成 対応基板サイズ
スパッタリング装置 クラスター 磁気ヘッド用成膜加工装置 HC7300-品番-HC7300

HC7300

要見積もり

クラスター式

φ150 mm、φ200 mm

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

キヤノンアネルバ株式会社は1967年に設立し、長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造、販売するメーカーです。 半導体デバイスやストレージデバイスの製造装置をはじめとする、超真空技術...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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