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シリーズ
圧電膜形成スパッタリング装置取扱企業
ジャパンクリエイト株式会社カテゴリ
利用シーン
化学業界用 / 電子・電気機器業界用Metoree経由で見積もり
2024年12月9日にレビュー済み
顧客対応への満足度
回答が速やかに有りました。しかし、残念ながら同社では対応が困難な案件でした。
初回対応までの時間への満足度
4.22時間
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成膜装置の製品86点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 基板サイズ | スパッタカソード | スパッタ電源 | プロセスガス | 基板ステージ | 真空排気 | 圧力制御 | 制御操作 | データロギング | 基板搬送 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
圧電膜形成スパッタリング装置 |
要見積もり |
最大φ12インチ |
マグネトロン方式 ターゲットシャッタ |
RFまたはDC |
Ar、O2、N2、他 |
基板加熱：700℃ (基板表面) |
構成1：TMP+DP |
APC制御 |
制御：PLC |
外部メモリまたはPC |
真空搬送ロボット |
基板加熱900℃、基板バイアス (RFまたはDC) 、基板冷却 (低温成膜) 、ムービングマグネット、磁性材ターゲット用カソード、発光分析システム、トレイ搬送、Q-MASS など |
