粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置
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この製品について

■概要本装置は、試料の表面に均一に成膜させるため、ドラム型の試料ホルダに試料を入れ、回転させながら成膜を行います。試料ホルダの回転運動により試料を撹拌させることで凝集を防ぎ、均一かつ効率的にスパッタ成膜が可能です。

■特徴・ターゲットサイズ150mm×50mmの専用矩形カソードユニットを標準装備しています。
・高圧電源やモータ駆動に対するインターロックなど各種安全対策を講じています。
・DC 1,200W (標準) で、RF仕様もご用意出来ます。
・前面ハッチから放電状況が確認可能です。
・試料ホルダの回転は0-20rpmの範囲で速度設定が可能です。
・試料ホルダは試料を入れたまま着脱可能で、成膜後の試料回収が容易です。

■オプション・試料撹拌翼 (脱着可能構造) 
・シャッターユニット (ターゲット⇔試料ホルダ間) 
・RF対応

■カスタム仕様・カソード多元化
・試料自動投入、回収機構

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置

取扱企業
アリオス株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

蒸着装置

加工・工作機器

スパッタリング装置

加工・工作機器

成膜装置

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粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	成膜チャンバー	主な搭載機器	排気系統 (一例)	到達圧力	カソードユニットターゲット寸法	カソードユニット冷却方法	カソードユニット DC電源出力	試料ホルダサイズ・形状	試料ホルダ処理容量	試料ホルダホルダ材質	試料ホルダ回転機構
	粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置	要見積もり	φ360mm×L350mm (内寸) / SUS304 JIS350ハッチ機構	矩形マグネトロンカソードユニット試料ホルダ	ターボ分子ポンプ (355L/s) ロータリーポンプ (203L/min) クリスタルイオンゲージ、隔膜真空計	5×10^-4Pa以下 (チャンバー内が空の状態にて)	50mm×150mm×t5mm (磁性体はt1mm)	水冷 (接点付き流量計)	MAX 1kV・1.2A (1,200W) 可変	ドラム形状 (円筒型) φ250mm×L180mm (内寸)	0.5/1バッチ (試料直径：φ0.5mm)	SUS304	モータ駆動 (0-20rpm可変)