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粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 成膜チャンバー | 主な搭載機器 | 排気系統 (一例) | 到達圧力 | カソードユニット ターゲット寸法 | カソードユニット 冷却方法 | カソードユニット DC電源 出力 | 試料ホルダ サイズ・形状 | 試料ホルダ 処理容量 | 試料ホルダ ホルダ材質 | 試料ホルダ 回転機構 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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粒子表面成膜用ドラムスパッタ装置 |
要見積もり |
φ360mm×L350mm (内寸) / SUS304 |
矩形マグネトロンカソードユニット |
ターボ分子ポンプ (355L/s) |
5×10^-4Pa以下 (チャンバー内が空の状態にて) |
50mm×150mm×t5mm (磁性体はt1mm) |
水冷 (接点付き流量計) |
MAX 1kV・1.2A (1,200W) 可変 |
ドラム形状 (円筒型) |
0.5/1バッチ (試料直径：φ0.5mm) |
SUS304 |
モータ駆動 (0-20rpm可変) |
