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返答時間
25.1時間
インターフェイス
USB RS232/485 Ethernet Bluetooth
シャッター
手動、時間、膜厚
周波数
2~6MHz
周波数精度
0.1Hz
膜厚
0~9,999,000Å
膜厚 分解能
0.1Å
成膜時間
0~9,999Å/s
成膜時間 分解能
0.1Å/s
型番
TMC-13シリーズ
蒸着用成膜コントローラー TMC-13取扱企業
北野精機株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品135点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | インターフェイス | シャッター | 周波数 | 周波数精度 | 膜厚 | 膜厚 分解能 | 成膜時間 | 成膜時間 分解能 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり |
USB RS232/485 Ethernet Bluetooth |
手動、時間、膜厚 | 2~6MHz | 0.1Hz | 0~9,999,000Å | 0.1Å | 0~9,999Å/s | 0.1Å/s |
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蒸着装置蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜蒸着方式
抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型成膜環境
真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型蒸着材料供給方式
単発源型 多元源型特徴機能
自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15返答率
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