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返答時間
27.0時間
返信の比較的早い企業
適合クリーンルーム
Class 10
対応ウェハサイズ
~200 mm (8″)
動作温度
常温–160℃
温度安定性
±5℃
キャパシティ
4″ ウェハ 8 カセット 5″ ウェハ 2カセット 6″ ウェハ 2カセット 8″ ウェハ 1カセット
スループット
2バッチ / 時 (イメージリバーサル ： 1バッチ / 時)
チャンバー寸法 (約) W×D×H
31×34×31 cm
本体寸法 (約) W×D×H
63×50×77 cm
供給ガス接続
・圧空 or N2：バルブ制御用 ・N2：チャンバーベント用 ・アンモニア：イメージリバーサル用
N2ガス消費量
7 SCF / プロセス
クリーン度
<5 × 1um パーティクル / 150mm ウェハ
レシピ数
8 レシピ
プロセス時間
0–999,999 秒
設定分解能
1秒
イメージリバーサル
対応
電源 (50/60Hz)
単相 200 – 250V, 20A
重量 (約)
109 kg
型番
310TA取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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電話番号不要
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一括見積もり
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 適合クリーンルーム | 対応ウェハサイズ | 動作温度 | 温度安定性 | キャパシティ | スループット | チャンバー寸法 (約) W×D×H | 本体寸法 (約) W×D×H | 供給ガス接続 | N2ガス消費量 | クリーン度 | レシピ数 | プロセス時間 | 設定分解能 | イメージリバーサル | 電源 (50/60Hz) | 重量 (約) |
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要見積もり | Class 10 | ~200 mm (8″) | 常温–160℃ | ±5℃ |
4″ ウェハ 8 カセット 5″ ウェハ 2カセット 6″ ウェハ 2カセット 8″ ウェハ 1カセット |
2バッチ / 時 (イメージリバーサル ： 1バッチ / 時) | 31×34×31 cm | 63×50×77 cm |
・圧空 or N2：バルブ制御用 ・N2：チャンバーベント用 ・アンモニア：イメージリバーサル用 |
7 SCF / プロセス | <5 × 1um パーティクル / 150mm ウェハ | 8 レシピ | 0–999,999 秒 | 1秒 | 対応 | 単相 200 – 250V, 20A | 109 kg |
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