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サイズ (inc)
2,3,4,5,6,8,12
製造方法
CZ / FZ
タイプ
P型 / N型 / 不問
結晶方位
＜100＞ / ＜111＞ / ＜110＞ / 不問
ノッチ/オリフラ方位
＜100＞ / ＜111＞ / ＜211＞ / 不問
厚み (μm)
280,380,525,625,625/675,725,775
厚み公差 (μm)
20,25
比抵抗 (Ω・cm)
0.005~ / 不問
オリフラorノッチ
オリフラ、ノッチorオリフラ、ノッチ
面仕上げ
片面ミラー (MP/ET) / 両面エッチド (ET/ET) 両面ミラー (MP/MP)
パーティクル
不問
梱包形態
コインロール / カセットケース
備考
6インチのオリフラ規格は、JEITA,SEMIどちらも対応可能
型番
ダミーウェーハシリーズ
ダミーウェーハ取扱企業
株式会社豊港カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | サイズ (inc) | 製造方法 | タイプ | 結晶方位 | ノッチ/オリフラ方位 | 厚み (μm) | 厚み公差 (μm) | 比抵抗 (Ω・cm) | オリフラorノッチ | 面仕上げ | パーティクル | 梱包形態 | 備考 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 2,3,4,5,6,8,12 | CZ / FZ | P型 / N型 / 不問 | ＜100＞ / ＜111＞ / ＜110＞ / 不問 | ＜100＞ / ＜111＞ / ＜211＞ / 不問 | 280,380,525,625,625/675,725,775 | 20,25 | 0.005~ / 不問 | オリフラ、ノッチorオリフラ、ノッチ |
片面ミラー (MP/ET) / 両面エッチド (ET/ET) 両面ミラー (MP/MP) |
不問 | コインロール / カセットケース | 6インチのオリフラ規格は、JEITA,SEMIどちらも対応可能 |
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直径 mm
5 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 600厚さ um
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600 600 - 700 700 - 800 800 - 1,200 1,200 - 2,000抵抗率 Ω・cm
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000結晶方位 度
100 - 101 101 - 112 112 - 211導電型
N/P N P成長方法
CZ MCZ FZ NTDFZ GDFZパーティクルサイズ μm
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 110
