ダミーウェーハ株式会社豊港

この製品について

ダミーウェーハとはテストウェーハとも呼ばれ、製品ウェーハと異なり主に機器の実験や検査に用いられるウェーハのことです。製造装置の稼働テスト、搬送テストやメカニカル評価 (切る、削る、磨く等) などに幅広く使用されます。

■ダミーウェーハの特徴実験やテストで使用することが多い為、サイズや厚みも様々です。再生ウェーハを用いる場合もあります。また、パーティクル管理されたシリコンウェーハ製品と比べると安価であり、小ロットでの出荷にも対応できるのがダミーウェーハの特徴です。

製造装置ではプロセスの安定性を上げるため最初の数枚ダミーウェーハを投入したり、製造プロセスの最適化とモニタリングに用います。ダミーウェーハはデバイス製造には向きませんが、モニタリングやテストには十分適しており新品のウェーハの代わりに多く利用されています。ダミーウェーハはウェーハ製造のあらゆる工程におけるテスト、調整で重要な働きをするウェーハです。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ダミーウェーハ

取扱企業
株式会社豊港

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ダミーウェーハ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	サイズ (inc)	製造方法	タイプ	結晶方位	ノッチ/オリフラ方位	厚み (μm)	厚み公差 (μm)	比抵抗 (Ω・cm)	オリフラorノッチ	面仕上げ	パーティクル	梱包形態	備考
	ダミーウェーハ	要見積もり	2,3,4,5,6,8,12	CZ / FZ	P型 / N型 / 不問	＜100＞ / ＜111＞ / ＜110＞ / 不問	＜100＞ / ＜111＞ / ＜211＞ / 不問	280,380,525,625,625/675,725,775	20,25	0.005~ / 不問	オリフラ、ノッチorオリフラ、ノッチ	片面ミラー (MP/ET) / 両面エッチド (ET/ET) 両面ミラー (MP/MP)	不問	コインロール / カセットケース	6インチのオリフラ規格は、JEITA,SEMIどちらも対応可能