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SiSi Wafer-アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

デバイス 厚さ 公差範囲

全型番で同じ値の指標

ハンドル層 厚さ

200-1,100μm

ハンドル層厚さ 公差範囲

±5μm

ハンドル層 重ね 厚さ 範囲

280-1,150μm

ハンドル層 ドーパント タイプ

NまたはP

ハンドル層 ドーピング

N type: Phos、 Red Phos、Sb&As P type: Boron

ハンドル層 抵抗率

≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm

ハンドル層 シリコン成長方法

CZ、MCZ or FZ

ハンドル層 結晶方位

100、111 or 110

ハンドル層 裏面処理

ラップ仕上げ、エッチングまたはポリッシュ磨きによる

デバイス層膜厚

≥20μm

デバイス層 ドーパントタイプ

N or P

デバイス層 ドーピング

N type: Phos、 Red Phos、Sb&As P type: Boron

デバイス層 抵抗率

≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm

デバイス層 シリコン成長方法

CZ、MCZ or FZ

デバイス層 結晶方位

100、111 or 110

デバイス層 埋め込み層のインプラ

N type または P type

この製品について

従来の厚エピや反転エピなど、パワーデバイスやPiNダイオード用に従来使用されていた材料の代替として用いることができ、費用対効果が高い材料です。直接ウエハーをボンディングする技術により、様々な単結晶シリコンを含むシリコン基板を作ることができます。 抵抗レンジは1mΩ-cmから10kΩ-cm、NタイプやPタイプの素材でオリエンテーション方向のアレンジ可能。高品質でリークやワープは小さく、低い欠陥密度となります。層の厚みのばらつき+/-0.5um以下。高濃度から低濃度の遷移レベルもお客様のアプリケーションに応じて調整できます。

■アプリケーション

・高耐圧 PINダイオード ・RF 減衰器 ・光検出器 ・X線検出器 ・IR赤外線センサー ・高耐圧パワーデバイス ・エピ材からの置き換え

■主な特徴

・高い品質 ・低コスト ・低い欠陥密度 ・膜の均一性がよい ・マルチレイヤ― ・鋭い濃度遷移レベル ・10kΩ-cmまでの抵抗率 ・界面品質がよい– 高解像サム検査による

  • 型番

    SiSi Wafer ウエハー直径 125mm

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SiSi Wafer SiSi Wafer ウエハー直径 125mmの性能表

商品画像 価格 (税抜) ハンドル層 厚さ ハンドル層厚さ 公差範囲 ハンドル層 重ね 厚さ 範囲 ハンドル層 ドーパント タイプ ハンドル層 ドーピング ハンドル層 抵抗率 ハンドル層 シリコン成長方法 ハンドル層 結晶方位 ハンドル層 裏面処理 デバイス層膜厚 デバイス 厚さ 公差範囲 デバイス層 ドーパントタイプ デバイス層 ドーピング デバイス層 抵抗率 デバイス層 シリコン成長方法 デバイス層 結晶方位 デバイス層 埋め込み層のインプラ
SiSi Wafer-品番-SiSi Wafer ウエハー直径 125mm 要見積もり 200-1,100μm ±5μm 280-1,150μm NまたはP N type: Phos、 Red Phos、Sb&As P type: Boron ≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm CZ、MCZ or FZ 100、111 or 110 ラップ仕上げ、エッチングまたはポリッシュ磨きによる ≥20μm ±0.5μm N or P N type: Phos、 Red Phos、Sb&As P type: Boron ≤0.001 - ≥10,000 Ω -cm CZ、MCZ or FZ 100、111 or 110 N type または P type

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5 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 600

厚さ um

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600 600 - 700 700 - 800 800 - 1,200 1,200 - 2,000

抵抗率 Ω・cm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000

結晶方位 度

100 - 101 101 - 112 112 - 211

導電型

N/P N P

成長方法

CZ MCZ FZ NTDFZ GDFZ

パーティクルサイズ μm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 110

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【パワーMOSFET・MEMS技術基盤ウエハー】のメーカーです。MEMSや貼り付け技術で製造と開発をリードします!

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