ヒューグルエレクトロニクス株式会社

新制御方式 (フレキシブルAC) でイオンを発生し、周波数を切替える事により搬送中などの近距離からクリーンブースなどの遠距離までを幅...

6種類の品番

• 電磁波対策

• イオナイザ

超薄型、小型設計による省スペース化を実現し、装置内などの狭い場所への設置にも配慮した設計です。電子制御式オートコントロール機能...

• 電磁波対策

• イオナイザ

有効長400mmまで対応可能な小型クリーナーです。小型ディスプレイ基板やフラットな電子基板の除塵に最適です。コンプレッサーエアー (CD...

2種類の品番

• 洗浄剤・装置

• 超音波洗浄機

本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてリニューアル致しました。安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常...

• 電磁波対策

• イオナイザ

USW-102は、独自の超音波セルを二列チドリ配置し、強力に異物を剥離可能な非接触式ウェブクリーナーです。 高機能性フィルム、光学フィ...

2種類の品番

• ポンプ

• 粉体ポンプ

お客様のご要望の通りにミリ単位で製作可能なDC式イオナイザバーです。半導体やFPD業界の製造装置内への設置もオーダーメイド製作のため...

• 電磁波対策

• イオナイザ

省スペース・省エネ型の超音波基板クリーナー。コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブロ...

2種類の品番

• 洗浄剤・装置

• 超音波洗浄機

本製品はリチウムイオンバッテリー及びコントロールボードを内蔵し従来のガンタイプイオナイザでは必要だったコントローラー及び高圧ケ...

• 電磁波対策

• イオナイザ

MODEL 7100は、イオナイザーの性能測定・メンテナンス用としてご使用頂ける最新型のマルチプレートモニター MP1です。現在、お客様がご...

• メーター・計測機器

• チャージプレートモニタ

液晶パネルや半導体製造工程での静電気対策に各種イオナイザー (除電装置) は不可欠なものです。除電性能低下によるトラブルやそれに伴...

2種類の品番

• 測定機器

• 静電気測定器

新機能パルスエアーの搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。このペンタイプイオナイザは、高周波で発生させたイオンをエ...

• 電磁波対策

• イオナイザ

見えないアースを見える化できないか。防爆型アースチェッカーEC10を使えば、アースの接続と確認が簡単確実。誰でも簡単に「安全を目視...

省スペース・省エネ型の超音波ウェブクリーナー。コンパクト設計によるクリーニングヘッドのスリム化を実現し、エアー流量制御によりブ...

• 洗浄剤・装置

• 超音波洗浄機

フィルム幅300mm程度までの表面クリーニングに最適なクリーナーです。 ■製品概要 ・フィルム幅300mm程度のクリーニング ・ロールシャフ...

• 洗浄剤・装置

• 超音波洗浄機

スリット直後のワークエッジ部の切断粉除去に最適なクリーナーです。エジェクターユニットと併せてご使用頂くことでコンプレッサーエア...

• 洗浄剤・装置

• 除塵機

マウンターテーブル (ステージ) のクリーニング/ダイシングテープやBGテープ、保護フィルム貼り付け前/ダイシング後/ドライスクライブ (...

コロナ放電式のイオナイザーは定期的なメンテナンスが必要です。放電針先端に浮遊物やガスを粒子化させた異物が付着します。エミッター...

極小ポイントに最適な非接触超音波クリーナーです。エジェクターユニットと併せてご使用頂くことでコンプレッサーエアー (CDA) の供給の...

• 洗浄剤・装置

• 超音波洗浄機

省スペース・省エネ型の超音波基板クリーナー (両面用) 。最適なエアーバランスで運用することにより極薄基板の両面クリーニングが可能...

2種類の品番

• 洗浄剤・装置

• 超音波洗浄機

これまで一般的だったブラシクリーナーなどの接触式クリーニングから非接触式への切替を検討されているお客様に最適なクリーニング機器...

ダイシングフレーム及びウェハをテープにマウントしカットします。気泡無く均一な貼り付けが可能です。 (最大8インチウェハ対応) 又、ウ...

• FA機器

• マウンター

レチクル専用容器であるRSP200,及びRSP150のフルオート洗浄システムです。高い洗浄性能を搭載した本装置はナノレベルのパーティクル除去...

• 半導体製造

• 半導体洗浄装置

ダイシング後のチップを自動でピックアップし、トレイ詰めを行う卓上型の装置です。最大ウェハサイズ8in対応、コストパフォーマンスに優...

• 半導体製造

• 半導体製造装置

グリップリングのオートクランプ機構を備えたウェハ拡張装置です。ステージ内蔵のカッター機構で、テープスカート部を極力短くし、その...

• 半導体製造

• 半導体製造装置

ダイシング後のチップを自動でピックアップし、トレイ詰めを行う卓上型の装置です。最大ウェハサイズ12in対応、コストパフォーマンスに...

• 半導体製造

• 半導体製造装置

新しいモデル865フリップチップボンダは、共晶、超音波、エポキシ、熱圧着、はんだフリップボンディングを、1つのシステムで実行できま...

• 半導体製造

• 半導体製造装置

本装置は6,8インチ兼用、及び、SEMI規格ウェハに対応したウェハ移載機です。キャリア自動識別機能、マッピング機能、基本移載パターンは...

• 半導体製造

• 半導体製造装置

FOUPやFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持・向上させる概念が必要不可欠な時代です。IF-12は、1台で各種FOUP/FOSBの洗浄/乾燥...

• 半導体製造

• 半導体洗浄装置

8インチ用SMIFPODの精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面タッチパネル方式のマニュアル洗浄機です。IA-8は、容器洗浄装置メーカー...

• 半導体製造

• 半導体洗浄装置

最新の露光技術であるEUV露光に用いられるEUVPODのための全自動洗浄装置 (特許取得済) です。InnerPOD、OuterPODの分解/再組立はもちろ...

• 半導体製造

• 半導体洗浄装置