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■概要 EMRS-211Qは石英放電管タイプでチャンバー外付型の有磁場型マイクロ波励起ラジカル源です。ラジカル酸化、窒化、水素還元、エッチ...
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■概要 RHEEDは反射高速電子線回折といい、高速電子線を試料に浅い角度で照射し、反射した電子で回折像を得ます。MBEでは、表面の原子の...
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■概要 2つのフランジ間の距離を可変することができる中空Zステージです。各種コンポーネントを取り付け、大気側から直線移動調整が可能...
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■概要 本機は超小型のマイクロ波励起プラズマ源です。ガスライン、あるいは排気ラインの途中に取り付けて使うことを想定して開発しまし...
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■概要 IRFS-301は最大300Wの電源を搭載しておりますが、IRFS-504と比較するとスリムかつ低出力のラジカルビーム源です。そのためIRFS-50...
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■概要 このトランスファーロッドは、強力な磁気回路により大気側から回転、直線運動を真空内へ伝える導入機です。2軸構造のマグネットカ...
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■概要 RHEED (Reflection High Energy Electron Diffraction=反射高速電子回折) 用蛍光スクリーンです。回折像投影時に制動放射線 (X線...
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■概要 分子線セル (クヌーセンセル) とは、原子層 1層ずつ積層成長可能な超高真空対応の蒸着源のことです。 当社は、分子線セルの製造に...
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■EB蒸着源 SSEBシリーズ SSEBシリーズはニッケル、クロム、シリコン、金などを蒸着するための実験用蒸着源です。K-セルでは対応が難しい...
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■概要 ビームフラックスモニター (BFM-2F01) は、B-Aタイプの小型ゲージをセンサーとし、分子線のビーム強度を測定するものです。アリオ...
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■概要 本ユニットは、ターボ分子ポンプ及びあら引きポンプを搭載した移動式排気セットです。本セット1台で、真空容器を大気から高真空に...
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■概要 大気側から真空側へとフランジの軸方向に直線的な動きを伝える部品です。超小型回転導入機 RFTシリーズと同様に磁気結合を使い、O...
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■概要 このプラズマ源はICPタイプのRF高密度プラズマにより、各種原料ガスを処理し、成膜実験、エッチング実験などにご使用頂けます。プ...
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■概要 この小型プラズマ源は、試料をクリーニングする目的で開発した「誘導結合型小型プラズマ源」です。独自の手動マッチング回路によ...
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■概要 アリオスのE型電子銃は各種高融点金属などのほとんどの金属や酸化物用の蒸着源です。電源と合わせ小型コンパクトな構成となってい...
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郵便番号 | 〒196-0021 |
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本社住所 | 東京都昭島市武蔵野3-2-20 |
創業年 | 1972年 |
資本金 | 15,000,000円 |
法人番号 | 7012801002282 |
会社区分 | メーカー |
リンク | アリオス株式会社 ホームページ |
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事業所情報について
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