キヤノンアネルバ株式会社

本真空スイッチは単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において、同時にON・OFF2点制御信号が得られ、しかも、作動圧力の変化...

• スイッチ

• 真空スイッチ

チタンサブリメーションポンプおよびタイバックポンプは、チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜 (ゲッター面) を作り...

金属製のB-A型電離真空計ゲージ球です。到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力 (1 Pa台が測定可) までを1つのゲージで測定可能です。 ...

• メーター・計測機器

• 圧力計

MTJ素子形成のための優れた膜圧均一性と極薄膜の多層薄膜を可能にする量産向けスパッタリング装置です。 不揮発メモリー (NVM) として...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

独自のベアリングシールド構造による完全オイルフリーの実現で、水蒸気によるベアリンググリース劣化防止、メンテナンスサイクルを長期...

• ポンプ

• 真空ポンプ

真空装置内に大気または特定ガスを導入するためのリークバルブで、真空シールおよび軸シールにはふっ素ゴム (バイトン) を使用していま...

イオンポンプ・ノーブルポンプは、磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に埋め込まれること、また陰極との衝...

ピラニ真空計と冷陰極型電離真空計のコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空までの広い圧力領域を1台で測定可能です。 大気圧...

• メーター・計測機器

• 真空計

本バルブは、長寿命化とメンテナンス性向上を図ったL型バルブです。バルブに内蔵しているベローズは、材質にハステロイ合金を採用するこ...

ロードロックを標準装備し、多様なオプション設定で研究開発の様々な用途に対応するスパッタリング装置です。 豊富な実績を通じて培っ...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

IBM Millingから各種成膜までを一貫処理するハードディスクの磁気ヘッド向けスパッタリング装置です。 磁気ヘッドの各プロセスを一挙に...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

真空中の機器の直線運動の導入に用い、圧力が10^-8 Pa以下の超高真空領域まで使用できる直線導入機です。 真空中に取り付けた機器の直...

10段のロードロックストッカーを装備し、多様なオプション設定で研究開発～少量生産に対応するスパッタリング装置です。 豊富な実績を...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

水晶振動子の共振インピーダンスの変化が圧力で変化することを利用した真空計で、大気圧から10-2 Paまでの広い圧力範囲の測定が可能です...

• メーター・計測機器

• 圧力計

世界最小サイズ、最小水準の省エネルギーを実現したライトプロセス用ルーツ型のドライポンプです。 特長 ■小型･軽量化 フットプリント2...

• ポンプ

• ドライポンプ

V-025SV アイソレイトバルブは主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。本バルブはカットバルブとベントバルブの機能を備...

HELENシリーズは、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発したポータブルタイプのヘリウムリークディテクターです。 各種真空装置の検査...

• センサー

• リークディテクタ

外部環境からの影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 キャパシタンスゲ...

• メーター・計測機器

• 圧力計

10^-7 Pa程度の超高真空領域まで使用できるL型バルブです。バルブは手動または圧空で、さまざまな接続フランジの種類を取り揃えています...

• 弁

• アングルバルブ

ターボ分子ポンプと背圧ポンプを組み合わせた排気ユニットで、ボタン一つで始動から停止までを制御できます。 T-Station85は、nEXT85H...

• ポンプ

• 真空ポンプ

MJT素子形成のための優れた膜厚均一性と極薄膜の多層薄膜を可能にする研究開発～少量生産向けスパッタリング装置です。 ハードディスク...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

斜め入射回転スパッタ方式による優れた膜厚均一性とナノレベルの膜厚制御が可能なスパッタリング装置です。 当社独自のスパッタリング...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

ハードディスクの磁気ヘッド、磁気センサーなどの磁性体多層薄膜を優れた膜厚均一性で形成するスパッタリング装置です。 HC7100はGMRヘ...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

質量数1 ～ 410 m/zまで測定が可能な高性能・高機能の四重極型質量分析計です。 M-401QA-MGSY/MUSYは、汎用型質量分析計として、10倍 (...

• メーター・計測機器

• ガス分析計

高速搬送、高成膜レート、生産規模に応じた構成に拡張可能なハードディスクの磁気ディスク向けスパッタリング装置です。 HDDのキーコン...

• 加工・工作機器

• スパッタリング装置

パワーシリーズクライオポンプの性能に加え、冷凍機の高効率化により省エネ性能をさらにアップさせたクライオポンプです。 POWERECOシ...

• ポンプ

• 真空ポンプ

真空装置内に大気または特定ガスを導入するためのリークバルブで、真空シールおよび軸シールにはふっ素ゴム (バイトン) を使用していま...

• 弁

• 真空バルブ

真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が10-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。磁気結合型回...

イオンポンプ／ノーブルポンプ用制御装置です。超高真空型と高出力型があり、接続するポンプにより動作可能圧力範囲と起動可能圧力が異...

• コントローラ・制御装置

• 制御盤

本バルブは、10-4 Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム (バイトン) Oリングを使用し...