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メディア研究所のスパッタリング装置

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株式会社メディア研究所

スパッタ装置 ROTARIS

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■特徴 ・独自技術のRotating Substrate Module (RSM) を用い、最大12個のカソードを装着でき、 100mmφのカソードで、200mmφウェハに均一...


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