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メディア研究所のスパッタリング装置

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株式会社メディア研究所

装飾用インラインスパッタリング装置 DECOLINE Ⅱ

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■3Dインラインコーティング・装飾と機能 両方の用途に対応 SINGULUS TECHNOLOGIESの核となる技術は、真空薄膜、ウェットプロセス、表面技術、熱処理技術です...


株式会社メディア研究所

スパッタ装置 ROTARIS

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■特徴 ・独自技術のRotating Substrate Module (RSM) を用い、最大12個のカソードを装着でき、 100mmφのカソードで、200mmφウェハに均一な成膜が可能 ・共ス...


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