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石英槽のメーカー11社一覧や企業ランキングを掲載中! 石英槽の概要、用途、原理もチェック!
石英槽 (せきえいそう) とは、高純度の石英ガラス (シリカガラス) で作られた槽のことを指します。
特に半導体の製造工程において多用され、厳格な不純物管理が求められる環境下で、金属汚染や微粒子の発生を抑制する重要な役割を果たします。
石英ガラスには、天然石英 (溶融石英) と合成石英の二種類がありますが、半導体製造用の石英槽には、より純度の高い合成石英が用いられます。天然石英の純度が99.9%以上であるのに対し、合成石英は99.99%以上の純度を誇ります。この極めて高い純度こそが、石英槽の材料として広く採用される理由です。
また、石英ガラスは加工性にも優れており、切削、研削、研磨といった機械加工に加え、火炎加工による溶接も可能です。
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
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