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ピエゾステージのメーカー18社一覧や企業ランキングを掲載中！ピエゾステージ関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:株式会社フィジックステクノロジーとなっています。 ピエゾステージの概要、用途、原理もチェック！
水晶やある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果（逆圧電効果）と呼びます。この現象を直線運動や回転などの位置変化に利用したステージを、一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージはナノメートルオーダーの微細な移動および位置分解能と、精確な位置再現性が最大の特長で、エンコーダと組み合わせることで精密なフィードバックシステムの構築が可能なため、科学研究分野や工業分野で広く活用されています。
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2025年8月の注目ランキングベスト1
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社フィジックステクノロジー |
100.0%
|
項目別
使用用途
#精密位置決め
#顕微鏡制御
#光学調整
#半導体製造
#ナノ操作
#表面観察
#干渉計測
構造
複数軸ステージ
ガイドレール型
用途
高精度測定用
表面加工用
ラボ実験用
光学調整用
ドライブの種類
PICMA
PILine
移動範囲 µm
0 - 50
50 - 100
100 - 200
200 - 500
1,000 - 50,000
分解能 nm
0 - 0.5
0.5 - 1
1 - 2
2 - 3
3 - 11
共振周波数 Hz
0 - 200
200 - 400
400 - 600
600 - 1,000
1,000 - 2,000
2,000 - 10,000
10,000 - 20,000
剛性 N/μm
0 - 0.5
0.5 - 1
1 - 2
2 - 3
双方向再現性 nm
0 - 1
2 - 10
直線性誤差 %
0 - 0.05
0.05 - 0.1
0.1 - 0.2
電気容量 µF
0 - 1
2 - 5
5 - 10
10 - 50
回転クロストーク µrad
0 - 1
1 - 5
5 - 10
10 - 50
100 - 200
200 - 1,000
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数mm～数十mmのストロークを20～40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®...
水晶やある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果（逆圧電効果）と呼びます。この現象を直線運動や回転などの位置変化に利用したステージを、一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージはナノメートルオーダーの微細な移動および位置分解能と、精確な位置再現性が最大の特長で、エンコーダと組み合わせることで精密なフィードバックシステムの構築が可能なため、科学研究分野や工業分野で広く活用されています。
ピエゾステージは微細な移動と位置分解能、精確な位置再現性、さらには応答が非常に速く、寿命が長いことが特長です。
また、エンコーダを利用し絶対的な位置情報を得ることで、精密なフィードバックシステムを構築することができます。
科学研究および工業分野で、下記のような用途に利用されています。
ある種のセラミックに電圧を印加すると変形する現象をピエゾ効果（逆圧電効果）と呼び、ピエゾ効果を示す物質を特にピエゾ素子と呼びます。
ピエゾ素子に見られる変形は、変化量が印加電圧に比例し、応答が非常に速く、可逆的であるという特徴を持ちます。
ピエゾ素子を位置決め用メカニズムとして形成したものをピエゾアクチュエータと呼び、ピエゾアクチュエータを組み込んだステージを一般的にピエゾステージと呼びます。
ピエゾステージは通常のモーターを利用したステージとは異なり、高い位置分解能と位置再現性、少ない消費電力での高負荷、速い位置応答という特徴があり、精確で速い位置決めが必要な場所で広く活用されています。
また磁石を利用しないので、周囲の磁場の影響をうけず、逆に周辺環境に磁場の影響を与えません。
真空中でも使用可能です。
一方で大きな移動量が必要な場合には機械的サポートを付加する必要があります。
またピエゾ素子の発熱と変形量の温度依存性には注意が必要です。
参考文献
https://www.rockgateco.com/product/scate/pos-ecs
http://www.keystone-intl.co.jp/products/encyclopedia/index.html
