全てのカテゴリ

閲覧履歴

半導体製造装置 洗浄装置 リフトオフシステム VAP200TM/VAP300TM-VAP200TM/VAP300TM
半導体製造装置 洗浄装置 リフトオフシステム VAP200TM/VAP300TM-タツモ株式会社

半導体製造装置 洗浄装置 リフトオフシステム VAP200TM/VAP300TM
タツモ株式会社



無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

バッチ浸漬式洗浄モジュールと枚葉式洗浄モジュールを複合させたユニークな装置構成と なっており、フォトレジストやフィルムの剥離処理に適した洗浄装置です。

■製品特徴

・プラットホーム バッチ浸漬槽での一括洗浄と枚葉処理チャンバーの精密洗浄をあわせることにより、効率的なタクトタイムで清浄な剥離処理が行えます。また、高温薬液処理、高圧スプレー処理も対応可能です。オプションとして、防爆仕様にも対応可能です。 ・プロセスユニット 多種多様な有機溶媒に対応したハード構成となっています。 8"および12"の口径に対応いたします。 ・操作性 視認性に優れたインターフェースを採用しています。

  • シリーズ

    半導体製造装置 洗浄装置 リフトオフシステム VAP200TM/VAP300TM

この製品を共有する


390人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

洗浄装置注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています


半導体製造装置 洗浄装置 リフトオフシステム VAP200TM/VAP300TM 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 適用ワーク
半導体製造装置 洗浄装置 リフトオフシステム VAP200TM/VAP300TM-品番-VAP200TM/VAP300TM

VAP200TM/VAP300TM

要見積もり

Φ200 & 300mmウェーハ

フィルターに該当する他製品

洗浄装置の中で同じ条件の製品
洗浄方式: ウェット

フィルターから探す

洗浄装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#除菌殺菌 #乾燥 #精密洗浄 #異物除去 #脱脂 #油分除去 #容器洗浄 #タンク洗浄

洗浄方式

超音波洗浄型 スプレー洗浄型 浸漬洗浄型 真空洗浄型 アーチ旋回洗浄 スチーム洗浄 ブラシ洗浄 温水洗浄 乾式洗浄 高圧洗浄 循環洗浄 洗剤洗浄 超音波洗浄 噴射洗浄 泡洗浄 薬液洗浄

洗浄媒体

水系洗浄型 溶剤洗浄型

搬送方式

バッチ型 インライン型

乾燥方式

温風乾燥型 真空乾燥型

消費電力 kW

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

電源電圧 V

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 260

タンク容量

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,500

洗浄液

アルカリ性界面活性剤 ゲルピカラボ スチーム パインアルファ プロピレングリコール 市水 純水 水石鹸液 精製水 専用アルカリ洗剤 専用酵素洗剤 中性洗剤 溶剤

対象ワーク

ウェハー オリコン カブ ガラス瓶 クレート ゴボウ コンテナ プラスチックトレー マスク メタルマスク 基板 金型 人参 大根

駆動方式

ダブルモーター エア駆動 シングルモーター ギヤ駆動 軸流タービン コンベア駆動 ペルトン型タービン トリプルウォッシュ スパイラル搬送

この商品を見た方はこちらもチェックしています

洗浄装置をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

もっと見る

  • 本社所在地: 岡山県
Copyright © 2025 Metoree