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リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置-珪素濃度調整装置
リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置-タツモ株式会社

リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置
タツモ株式会社



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この製品について

熱リン酸プロセスでは、処理槽内の薬液交換を行った直後には珪素濃度が低過ぎるため、ダミー処理を行う必要があり、生産性が低下してしまうという問題が発生します。廃液中の珪素濃度を測定し、適量の新液をブレンドすることで、任意の珪素濃度のリン酸を生成することが可能となり、液交換直後からプロセスに適用できるため、熱リン酸プロセスの生産性を向上させます。

■製品特徵

・処理槽の薬液交換後のダミー処理 (溶かしこみ) が不要で生産性向上、NPWコスト削減に寄与します。 ・独自開発の珪素濃度モニターを搭載しています。 ・リン酸廃液中の珪素濃度を測定し、任意の珪素濃度のリン酸を生成します。 ・系内の自動洗浄機能を装備しています。 ・各種オプションに対応します。

  • シリーズ

    リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置

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リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置 品番1件

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リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置-品番-珪素濃度調整装置

珪素濃度調整装置

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使用用途

#除菌殺菌 #乾燥 #精密洗浄 #異物除去 #脱脂 #油分除去 #容器洗浄 #タンク洗浄

洗浄方式

超音波洗浄型 スプレー洗浄型 浸漬洗浄型 真空洗浄型 アーチ旋回洗浄 スチーム洗浄 ブラシ洗浄 温水洗浄 乾式洗浄 高圧洗浄 循環洗浄 洗剤洗浄 超音波洗浄 噴射洗浄 泡洗浄 薬液洗浄

洗浄媒体

水系洗浄型 溶剤洗浄型

搬送方式

バッチ型 インライン型

乾燥方式

温風乾燥型 真空乾燥型

消費電力 kW

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500

電源電圧 V

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 260

タンク容量

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 4,500

洗浄液

アルカリ性界面活性剤 ゲルピカラボ スチーム パインアルファ プロピレングリコール 市水 純水 水石鹸液 精製水 専用アルカリ洗剤 専用酵素洗剤 中性洗剤 溶剤

対象ワーク

ウェハー オリコン カブ ガラス瓶 クレート ゴボウ コンテナ プラスチックトレー マスク メタルマスク 基板 金型 人参 大根

駆動方式

ダブルモーター エア駆動 シングルモーター ギヤ駆動 軸流タービン コンベア駆動 ペルトン型タービン トリプルウォッシュ スパイラル搬送

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県

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