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リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置-珪素濃度調整装置
リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置-タツモ株式会社

リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置
タツモ株式会社

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この製品について

熱リン酸プロセスでは、処理槽内の薬液交換を行った直後には珪素濃度が低過ぎるため、ダミー処理を行う必要があり、生産性が低下してしまうという問題が発生します。廃液中の珪素濃度を測定し、適量の新液をブレンドすることで、任意の珪素濃度のリン酸を生成することが可能となり、液交換直後からプロセスに適用できるため、熱リン酸プロセスの生産性を向上させます。

■製品特徵

・処理槽の薬液交換後のダミー処理 (溶かしこみ) が不要で生産性向上、NPWコスト削減に寄与します。 ・独自開発の珪素濃度モニターを搭載しています。 ・リン酸廃液中の珪素濃度を測定し、任意の珪素濃度のリン酸を生成します。 ・系内の自動洗浄機能を装備しています。 ・各種オプションに対応します。

  • シリーズ

    リン酸プロセス装置 珪素濃度調整装置

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タツモ株式会社

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県

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