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リン酸プロセス装置 リン酸再生装置 PSYRION-PSYRION
リン酸プロセス装置 リン酸再生装置 PSYRION-タツモ株式会社

リン酸プロセス装置 リン酸再生装置 PSYRION
タツモ株式会社

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この製品について

窒化膜エッチングに用いられる熱リン酸は、プロセス処理により生成される珪素の濃度が上昇するため、定常的に新液への交換が必要になります。この珪素を弊社独自の技術により除去する事でリン酸の再生・再利用が可能になります。PSYRION ® は、先端半導体メー カー様で多数採用され、薬品コストの削減、環境対策に貢献しています。

■製品特徴

・リン酸の調達コストを劇的に削減します。 ・リン酸廃液を削減し、貴社の環境施策に貢献します。 ・再生回数に制限はありません。繰り返し再生が可能です。 ・複数のウェットステーション、処理槽と接続することができます。 ・ウェットステーションメーカー、機種を問わず接続可能です。 ・系内の自動洗浄機能を装備しています。 ・各種オプションに対応します。

  • シリーズ

    リン酸プロセス装置 リン酸再生装置 PSYRION

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会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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