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シリーズ
遠心式薄膜蒸発機 CEHシリーズ取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 主要部材質 | 加熱方式 | 加熱温度 | 到達圧力 (真空度) | ローター径 | 伝熱面積 | ローター回転数 | ローター加熱ヒーター | 原液供給量 | 凝縮器冷却方式 | コールドトラップ冷却方式 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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CEH-400BⅡ |
要見積もり |
SUS304 (但し、加熱ローターSUS316L) |
液相熱媒加熱 |
~260℃ |
1.0Pa |
φ400mm |
0.15m2 |
1,000rpm |
10kW |
~50kg/hr |
空冷または水冷 |
冷凍機冷却または寒剤投入方式 |
蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15