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有機EL試作用デバイス製造装置 有機蒸着源熱処理クリーニング装置-有機蒸着源熱処理クリーニング装置
有機EL試作用デバイス製造装置 有機蒸着源熱処理クリーニング装置-北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機蒸着源熱処理クリーニング装置
北野精機株式会社

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■特徴

有機EL、有機トランジスタ、有機薄膜太陽電池などの素子作製用の有機蒸着源のクリーニングを行う装置です。有機溶剤等にて脱着困難な有機材料をヒーターによる熱にて真空加熱を行う事で、付着物を除去する効果があります。ヒーターには、ハロゲンヒーターを用いており、MAX500℃まで対応可能です。

■用途

・有機蒸着源のクリーニング ・有機EL関連部品のクリーニング

  • シリーズ

    有機EL試作用デバイス製造装置 有機蒸着源熱処理クリーニング装置

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有機EL試作用デバイス製造装置 有機蒸着源熱処理クリーニング装置 品番1件

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