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有機EL試作用デバイス製造装置 有機蒸着源熱処理クリーニング装置-北野精機株式会社

有機EL試作用デバイス製造装置 有機蒸着源熱処理クリーニング装置
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この製品について

■特徴

有機EL、有機トランジスタ、有機薄膜太陽電池などの素子作製用の有機蒸着源のクリーニングを行う装置です。有機溶剤等にて脱着困難な有機材料をヒーターによる熱にて真空加熱を行う事で、付着物を除去する効果があります。ヒーターには、ハロゲンヒーターを用いており、MAX500℃まで対応可能です。

■用途

・有機蒸着源のクリーニング ・有機EL関連部品のクリーニング

  • シリーズ

    有機EL試作用デバイス製造装置 有機蒸着源熱処理クリーニング装置

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有機EL試作用デバイス製造装置 有機蒸着源熱処理クリーニング装置 品番1件

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有機EL試作用デバイス製造装置 有機蒸着源熱処理クリーニング装置-品番-有機蒸着源熱処理クリーニング装置

有機蒸着源熱処理クリーニング装置

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排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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