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返答率
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75.6時間
シリーズ
卓上型真空ベーク・HMDS蒸着装置 58TA取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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蒸着装置の製品72点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適合クリーンルーム | 対応ウェハサイズ | 動作温度 | 温度安定性 | キャパシティ | スループット | チャンバー寸法 (約) W×D×H | 本体寸法 (約) W×D×H | 供給ガス接続 | N2ガス消費量 | クリーン度 | レシピ数 | プロセス時間 | 設定分解能 | イメージリバーサル | 電源 (50/60Hz) | 重量 (約) |
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58TA |
要見積もり | Class 10 | ~300 mm (12″) | 常温–180℃ | ±5℃ |
4″ ウェハ 12カセット 5″ ウェハ 8カセット 6″ ウェハ 2カセット 8″ ウェハ 2カセット 12″ ウェハ 2カセット |
2バッチ / 時 (イメージリバーサル : 1バッチ / 時) | 40.5×46×40.5 cm | 74×63×88 cm |
・圧空 or N2:バルブ制御用 ・N2:チャンバーベント用 ・アンモニア:イメージリバーサル用 |
16 SCF / プロセス | <5 × 1um パーティクル / 150mm ウェハ | 8 レシピ | 0–999,999 秒 | 1秒 | 対応 | 単相 208 – 230V, 20A | 132 kg |