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51.0時間
シリーズ
卓上型真空ベーク・HMDS蒸着装置 58TA取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 適合クリーンルーム | 対応ウェハサイズ | 動作温度 | 温度安定性 | キャパシティ | スループット | チャンバー寸法 (約) W×D×H | 本体寸法 (約) W×D×H | 供給ガス接続 | N2ガス消費量 | クリーン度 | レシピ数 | プロセス時間 | 設定分解能 | イメージリバーサル | 電源 (50/60Hz) | 重量 (約) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
58TA |
要見積もり |
Class 10 |
~300 mm (12″) |
常温–180℃ |
±5℃ |
4″ ウェハ 12カセット |
2バッチ / 時 (イメージリバーサル : 1バッチ / 時) |
40.5×46×40.5 cm |
74×63×88 cm |
・圧空 or N2:バルブ制御用 |
16 SCF / プロセス |
<5 × 1um パーティクル / 150mm ウェハ |
8 レシピ |
0–999,999 秒 |
1秒 |
対応 |
単相 208 – 230V, 20A |
132 kg |