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ウェハ用機器 リングフレーム再使用の省人化に 全自動リングクリーナー RC-250取扱企業
イーアールエス株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対象ウェハサイズ | 適用テープ | テープフレーム | 洗浄液 | 適用ワイパー | 処理能力 (参考値) | 外径寸法 | ユーティリティ | 重量 | 供給源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
RC-250 |
要見積もり |
Φ6インチ |
UVテープ |
MODTF2-6-1 |
IPA及びMEK |
ベンリーゼ TS-100 ロールタイプ |
約30秒 / 枚 |
幅1,800×奥行き1,100×高さ2,140mm |
ドライエア (0.4MPa以上) |
750kg |
三相 AC200V |
