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フォトマスク CO₂ドライクリーニング装置 RAVE EL-C-RAVE EL-C
フォトマスク CO₂ドライクリーニング装置 RAVE EL-C-ブルカージャパン株式会社

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■マスク向けCO₂精密ドライクリーニング装置

・フォトマスク用リペア残渣やドライクリーニングによるパーティクル除去 ・マスク縦置きクリーニングによりパーティクルの再付着をコントロール ・マスク表裏面のクリーニングに対応 ・独自ノズルの採用により、最先端のパターンへのダメージが無い洗浄が可能に ・SMIFポッドロードロックとチャンバー内のISO Class3レベルの環境保持機能の搭載によりクリーン環境でのプロセスが可能に

  • シリーズ

    フォトマスク CO₂ドライクリーニング装置 RAVE EL-C

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フォトマスク CO₂ドライクリーニング装置 RAVE EL-C 品番1件

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会社概要

ブルカージャパン株式会社は、高性能科学機器や、分析・診断ソリューションの開発・製造・販売を行っている企業です。 本社所在地は神奈川県横浜市であり、1975年に設立されました。 化学、生物、工業材料の試料に対する分析装置...

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