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薄膜形成装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置-AAMF-C1650SBR
薄膜形成装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置-神港精機株式会社

薄膜形成装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置
神港精機株式会社

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この製品について

用途が拡大しているリフトオフプロセスに対応した専用蒸着装置です。 高い蒸発粒子の垂直性と基板水冷機構の採用によりレジストの保護と微細パターンの維持を実現しています。

  • シリーズ

    薄膜形成装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置

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薄膜形成装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置 品番2件

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薄膜形成装置 リフトオフプロセス対応蒸着装置-品番-AAMF-C1650SBR

AAMF-C1650SBR

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AAMF-C2265SBR

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排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

神港精機株式会社

会社概要

神港精機株式会社は1949年に設立した、真空ポンプ・真空装置を中心にアセンブリ装置・光学検査装置を製造するメーカーです。 技術開発型の企業として、「真空技術」を応用した製造装置及びコンポーネントを主軸とした「モノづくり...

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