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成膜装置の製品178点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電源入力 | 真空槽サイズ | 制御方式 | 排気完了真空圧力 | 真空ポンプ | ガス圧力コントロール | 真空計 | マスフローコントローラ | 高圧パルス電源 | パルスRF電源 | 標準計測器 | サイズ | オプション |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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PBII―R450 |
要見積もり |
3ΦAC200V±10% 50/60Hz 約25kVA |
片面扉式、サイズ410mm×410mm×410mm (約70L) |
手動運転/自動運転 (タッチパネル入力) |
1.33×10-3Pa以下 (1.33×10-3Pa以上なら設定変更可能) |
ターボ分子ポンプ、メカニカルブースターポンプ、ロータリーポンプ |
自動圧力制御弁 (200Aフランジ) |
電離真空計、ピラニ真空計、隔膜真空計、デジタル圧力スイッチ |
7系統 (Ar、H2、CH4、C2H2、N2、C6H5CH3、HMDSO) |
出力電圧-20kVp、出力電流 10Ap、充電容量1.5kW |
750W (13.56MHz) (1,500Wに仕様変更可能) |
デジタルオシロスコープ (出力電圧、出力電流) |
真空装置:2,150 (W) ×1,705 (H) ×900 (D) mm |
冷却水用チラー、排ガス処理装置、コンプレッサー |
成膜装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #光学部品製造 #太陽電池製造 #ディスプレイ製造 #電池材料開発 #センサ開発 #薄膜トランジスタ開発 #表面改質 #機能性材料研究 #MEMS製造 #医療機器製造 #材料評価到達圧力 Pa
0 - 0.01 0.01 - 1 1 - 10基板サイズ mm
25 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 650設置面積 m²
1 - 5 5 - 10 10 - 20所要電力 kVA
10 - 15 15 - 20 20 - 25 25 - 30 30 - 35真空槽 mm
500 - 800 800 - 1,000基板バイアス V
0 - 5,000 5,000 - 25,000