高真空蒸着装置 ED-1600
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この製品について

高真空蒸着装置ED-1600は抵抗加熱と電子銃を標準装備しております。金属、貴金属、酸化物の成膜も容易にできます。排気系の立ち上げ、立ち下げ、蒸着準備、ベントを自動で行い、成膜制御も水晶式膜厚計により自動で行います。加熱機構はハロゲンランプ2基を標準装備しておりますので、基板加熱も300℃まで短時間で昇温可能です。研究用として開発された本装置は中規模の生産用としても十分満足できる仕様で、各方面の研究機構、メーカー様に納入させて頂いております。蒸着装置は金額が高価だという多くのご要望を、弊社は原価の見直しを行った結果、中規模生産用装置として破格の1000万円台を実現しました。仕様も多種多様。貴社・貴学のご要望に合わせて設計・製作可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
高真空蒸着装置 ED-1600

取扱企業
株式会社サンバック

カテゴリ

加工・工作機器

蒸着装置

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高真空蒸着装置 ED-1600 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	到達圧力	真空室径	蒸着機構	基板形状	基板回転	基板加熱	膜厚計	真空排気系	真空計	制御系	操作方法	ユーティリティ電気	ユーティリティ冷却水	ユーティリティ計装エアー	ユーティリティ寸法
	ED-1600	要見積もり	5.0×10-4Pa以下※常温・無負荷・脱ガス時	φ600mm×650mmH水冷パイプ巻 SUS304 電解研磨	電子銃最大投入電力：5kW ルツボ容量：2.9mL ルツボ個数：4個抵抗加熱最大電力：AC5V400A 抵抗電極数：1対 (ボート)	□50mm □100mm いずれも対応	ドーム形状：φ550mm×100mmH×2mmt (材質:Al) モーター直接駆動方式 0~30rpm	ハロゲンランプ1.5kW×2式常温~300℃迄昇温可能制御方式：サイリスタ制御・PID方式デジタル温調計	水晶振動式膜厚計	油回転ポンプ：667/800L/min[50Hz/60Hz] ターボ分子ポンプ：500L/sec	大気圧検知器/ピラニ真空計/電離真空計	ターボ分子ポンプコントローラ	手動/自動 (排気系立ち上げ/蒸着準備/ベント/排気系立ち下げ：4種類)	AC200V三相20kVA	20L/min以上0.1MPa以上0.15MPa以下25℃以下循環	0.5MPa以上	装置架台本体：955mmW×770mmD× (1,810) mmH 制御盤：590mmW×800mmD× (1,825) mmH