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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気速度 | 真空室径 | 蒸着機構 | 基板形状 | 基板回転 | 基板加熱 | 膜厚計 | 真空排気系 | 真空計 | 操作方法 | 制御系 | ユーティリティ 電気 | ユーティリティ 計装エアー | ユーティリティ 乾燥窒素 | 装置寸法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
RD-1600 |
要見積もり |
×10-5Pa台※常温・無負荷・脱ガス完了時 |
大気圧から60分で1.2×10-4Pa台※常温・無負荷・脱ガス完了時 |
内寸：φ580mm×625mmH SUS304 電解研磨処理 前扉方式 |
有機セル：K熱電対による温度制御 |
□200mm以内 |
回転数：0~20rpm |
最高温度：300℃ (基板表面上) |
水晶振動式膜厚計 |
油回転ポンプ：403L/min[60Hz] |
広帯域真空計 |
排気系全自動 (手動操作も可能) /成膜系全自動 (手動操作も可能) |
独立制御盤型：タッチパネル/シーケンサー/サイリスタユニット/各種コントローラ |
AC200V三相5.0kVA |
圧力0.5MPa以上 |
圧力0.05MPa以上0.1MPa以下 |
装置本体：2472mmW×1,200mmD× (1,929) mmH |
