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高真空蒸着装置 ED-1500 (code：B175)取扱企業
株式会社サンバックカテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気速度 | 真空室径 | 蒸着機構 | 蒸着機構 電子銃最大投入電力 | 蒸着機構 電子銃ルツボ容量 | 蒸着機構 電子銃ルツボ個数 | 蒸着機構 電子銃ビーム偏向角 | 蒸着機構 電子銃電源出力電圧 | 蒸着機構 電子銃電源出力電流 | 蒸着機構 抵抗加熱最大投入電力 | 蒸着機構 抵抗加熱電極数 | 基板形状 | 基板回転 | 基板加熱 | 真空排気系 | 真空計 | 操作方法 | 制御系 | ユーティリティ 電気 | ユーティリティ 計装エアー | ユーティリティ 冷却水 | ユーティリティ 乾燥窒素 | 装置寸法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
ED-1500 (code：B175) |
要見積もり |
×10-5Pa台※常温・無負荷・脱ガス完了時 |
大気圧から30分で9.0×10-4Pa台※常温・無負荷・脱ガス完了時 |
内寸：φ500mm×625mmH SUS304 電解研磨処理 前扉方式 |
電子銃方式・抵抗加熱方式 |
10kW |
40.0mL |
6個 |
270度 |
DC-4~-10kV |
DC0~1,000mA |
AC10V 200A |
2対 (切替型) |
□160mm以内もしくはφ8インチウエハー1枚固定可能 |
回転数：0~19rpm |
最高温度：300℃ (基板表面上) |
油回転ポンプ：670L/min[50Hz] |
広帯域真空計 |
排気系全自動 (手動操作も可能) /成膜系全自動 (手動操作も可能) |
独立制御盤型：タッチパネル/シーケンサー/サイリスタユニット/各種コントローラ |
AC200V三相17.0kVA |
圧力0.5MPa以上 |
流量11L/min以上 圧力0.03MPa以上0.1MPa以下 水温25℃以下循環 |
圧力0.05MPa以上0.1MPa以下 |
装置本体：990mmW×1,000mmD× (1,837) mmH |
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蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜蒸着方式
抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型成膜環境
真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型蒸着材料供給方式
単発源型 多元源型特徴機能
自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
