制御・計測・センシング
駆動・機械要素・電子制御部品
産業別カテゴリ
電源・エネルギー・熱処理機器
安全・保護・環境対策
材料・素材・ケミカル
電気・電子部品
構造部品・締結要素
ソフトウェア・ネットワーク
サービス
その他
全てのカテゴリ
閲覧履歴
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気速度 | 真空室径 | 蒸着機構 | 蒸着機構 電子銃最大投入電力 | 蒸着機構 電子銃ルツボ容量 | 蒸着機構 電子銃ルツボ個数 | 蒸着機構 電子銃ビーム偏向角 | 蒸着機構 電子銃電源出力電圧 | 蒸着機構 電子銃電源出力電流 | 蒸着機構 抵抗加熱最大投入電力 | 蒸着機構 抵抗加熱電極数 | 基板形状 | 基板回転 | 基板加熱 | 真空排気系 | 真空計 | 操作方法 | 制御系 | ユーティリティ 電気 | ユーティリティ 計装エアー | ユーティリティ 冷却水 | ユーティリティ 乾燥窒素 | 装置寸法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
ED-1500 (code：B175) |
要見積もり |
×10-5Pa台※常温・無負荷・脱ガス完了時 |
大気圧から30分で9.0×10-4Pa台※常温・無負荷・脱ガス完了時 |
内寸：φ500mm×625mmH SUS304 電解研磨処理 前扉方式 |
電子銃方式・抵抗加熱方式 |
10kW |
40.0mL |
6個 |
270度 |
DC-4~-10kV |
DC0~1,000mA |
AC10V 200A |
2対 (切替型) |
□160mm以内もしくはφ8インチウエハー1枚固定可能 |
回転数：0~19rpm |
最高温度：300℃ (基板表面上) |
油回転ポンプ：670L/min[50Hz] |
広帯域真空計 |
排気系全自動 (手動操作も可能) /成膜系全自動 (手動操作も可能) |
独立制御盤型：タッチパネル/シーケンサー/サイリスタユニット/各種コントローラ |
AC200V三相17.0kVA |
圧力0.5MPa以上 |
流量11L/min以上 圧力0.03MPa以上0.1MPa以下 水温25℃以下循環 |
圧力0.05MPa以上0.1MPa以下 |
装置本体：990mmW×1,000mmD× (1,837) mmH |
