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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 排気速度 | 真空漏洩量 | 真空室径 | 蒸着機構 | 基板形状 | 基板回転 | 膜厚計 | 真空排気系 | 真空計 | 操作方法 | 制御系 | ユーティリティ 電気 | ユーティリティ 冷却水 | ユーティリティ 計装エアー | ユーティリティ 装置本体 | ユーティリティ 制御盤 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
RD-1500 |
要見積もり |
×10-5Pa台以下※ワーク挿入時・常温時 |
大気圧から60分で2.0×10-4Pa※常温・無負荷・脱ガス時 |
1.0×10-10Pa・m3/sec Heリークデテクター検査 |
φ500mm×625mmH SUS304 電解研磨処理 前扉方式 |
抵抗加熱方式6対 (最大2源同時可能) |
φ290mm 4インチウエハー4枚設置可能 (ご希望形状に対応可能) |
回転数：0~15rpm |
水晶振動式膜厚計 |
油回転ポンプ：333L/min[50Hz] |
広帯域真空計 |
排気系全自動 (手動操作も可能) |
独立制御盤型：タッチパネル/シーケンサー/サイリスタユニット/各種コントローラ |
AC200V単相50A |
2L/min以上0.1MPa以上0.15MPa以下25℃以下循環 |
0.5MPa以上 |
950mmW×1,000mmD× (1,922) mmH |
570mmW×1,000mmD× (1,593) mmH |
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蒸着装置の製品129点中、注目ランキング上位6点
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蒸着装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜蒸着方式
抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型成膜環境
真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型蒸着材料供給方式
単発源型 多元源型特徴機能
自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型排気時間 分
10 - 15 15 - 20 20 - 25排気系主ポンプ
クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ操作方法
全自動 手動 自動基板サイズ mm
50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000チャンバーサイズ mm
150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400蒸発方式
抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱基板加熱温度 ℃
100 - 500 500 - 800 800 - 1,000膜厚分布 %
1 - 5 5 - 15
