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真空蒸着装置 Sapio Series SGC-S1300-SGC-S1300
真空蒸着装置 Sapio Series SGC-S1300-株式会社昭和真空

真空蒸着装置 Sapio Series SGC-S1300
株式会社昭和真空

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この製品について

バッチ間成膜再現性を追求した高性能モデル

■用途・応用例

光学多層膜フィルター (IRカットフィルター，バンドパスフィルターなど) 、各種反射防止膜、増反射ミラー、LEDのDBR (Distributed. BraggReflector) 膜形成 概要

■成膜再現性

新開発のファイバー式光学モニター、安定した温度制御が可能な円盤型80点モニターガラスを採用。設計通りの特性が得られる高精度を実現。

■膜質安定性

徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず膜質の安定化を実現。

■低パーティクル

排気系の乱流対策，蒸発源近傍の防汚対策・電子銃のチューニングにより低パーティクル化を実現。

■高出力イオンソース

Sapio専用設計の高出力イオンソースを搭載、多層光学フィルターから樹脂基板への成膜まで幅広く対応。

■特長

・高効率排気システム ・高精度膜厚制御システムWavenavigator，Lafio-PLUS ・高出力・大面積照射RFイオンソースISGシリーズ ・低パーティクル仕様 (オプション) LED向けDBR (Distributed Bragg Reflector) 膜形成　DBRが選ばれる理由

■Al膜、Al+増反射膜

・熱変形による応力により結晶欠陥が発生。製品の劣化に繋がる ・Al反射膜では反射率増加に限界がある

■DBR (誘電体多層膜ミラー)

・熱変形による劣化が少ない ・アルミ反射膜では得られない高い反射率の実現 高速APC+真空計

■圧力変動発生時に影響されないよう制御する

成膜中の放出ガスなどの影響を抑制するには迅速な圧力制御が必要となります。高レスポンスの真空計と新開発の高速APC (自動圧力調整器) との組合せで驚異的な圧力制御性能を得ることができました。もちろん、不意の圧力変動も最小限に抑えることができます。

■モニターガラス機構

成膜中の圧力が異なると、屈折率などの膜質だけでなく基板上の膜厚も変動してしまいます。これは膜厚制御を行なっているモニターガラスと基板との圧力雰囲気が異なることが大きな要因であり、この差を最小限に抑える構造をさまざまな検証実験により求めることができました。従来の蒸着機と比較すると圧力変化による膜厚振れ量を約30分の1にまで抑えることが可能となりました。

  • シリーズ

    真空蒸着装置 Sapio Series SGC-S1300

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真空蒸着装置 Sapio Series SGC-S1300 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) 真空槽サイズ (mm ) 排気ポンプ 設置寸法 重量 電源容量
真空蒸着装置 Sapio Series SGC-S1300-品番-SGC-S1300

SGC-S1300

要見積もり

φ1,300

22 inchDP×2 マイスナートラップ

W4,500mm×D6,000mm×H2,730mm

6,546kg

AC200~220V 約89kVA

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使用用途

#研究開発 #金属膜 #有機エレクトロニクス #電子顕微鏡試料 #多層膜 #電子部品半導体 #超高真空 #MBE #保護膜

蒸着方式

抵抗加熱蒸着型 電子ビーム蒸着型

成膜環境

真空蒸着型 高真空蒸着型 イナートガス雰囲気型

蒸着材料供給方式

単発源型 多元源型

特徴機能

自動制御型 高速成膜型 高精度厚さ制御型 クリーン対応型

排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社昭和真空

会社概要

株式会社昭和真空は、1958年に設立された、真空関連装置メーカーです。 2000年にはJASDAQ上場（現在は東証スタンダード市場）を果たします。 真空技術を中心とした、装置製造を軸としており、全て受注生産であることが...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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